PECVD Graphite Wafer Subteno

Mallonga Priskribo:

Desegnita por precizeco kaj rendimento, la Graphite Wafer Support de VET Energy estas la ideala materialo por uzo en progresinta oblatpretigo, kie alta termika stabileco kaj konsekvenca agado estas kritikaj. Ĉu vi laboras kun duonkonduktaĵoj aŭ aliaj delikataj substratoj, ĉi tiu altkvalita grafita subteno plibonigos vian procezan fidindecon kaj produktan kvaliton, igante ĝin nemalhavebla komponanto por moderna fabrikado.

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

VET Energy PECVD-proceza grafita oblata subteno estas kerna konsumebla desegnita por procezo de PECVD (plasmo-plifortigita kemia vapordemetado). Ĉi tiu produkto estas farita el altpura, alt-denseca grafita materialo, kun bonega alttemperatura rezisto, koroda rezisto, dimensia stabileco kaj aliaj karakterizaĵoj, povas provizi stabilan subtenan platformon por PECVD-procezo, por certigi la unuformecon kaj platecon de filmo-demetado.

La "grafita subteno" dezajno de VET Energy-grafita oblata subteno povas ne nur efike subteni la oblaton, sed ankaŭ provizi termikan stabilecon en la alta temperaturo kaj alta premo PECVD-medio por certigi la stabilecon de la procezo.

VET Energy PECVD-proceza grafita oblata subteno havas la sekvajn karakterizaĵojn:

▪Alta pureco:ekstreme malalta malpura enhavo, evitu poluadon de la filmo, por certigi la kvaliton de la filmo.

▪Alta denseco:alta denseco, alta mekanika forto, povas elteni altan temperaturon kaj altan premon PECVD-medio.

▪Bona dimensia stabileco:malgrandaj dimensiaj ŝanĝoj ĉe alta temperaturo por certigi la stabilecon de la procezo.

▪Bonega varmokondukteco:efike translokigi varmon por malhelpi oblaton trovarmiĝon.

▪Forta koroda rezisto:Kapabla rezisti erozion de diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

▪Agordita servo:Grafitaj subtenaj tabloj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti personecigitaj laŭ klientbezonoj.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grajnograndeco	ISO 13320	10	μm
Granda denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza pora grandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra resistiveco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksa forto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktivo (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca sunĉela fabrikado, subtenante G12-grand-grandan oblatan prilaboradon. Optimumigita portanto-dezajno signife pliigas trairon, ebligante pli altajn rendimentajn indicojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tajpu	Nombra oblaportilo
PEVCD Grephite boato - La 156 serio	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite boato - La 125 serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grphite boato	280