SiC Coated Halfmoon Part Drum Uzita en SiC Epitaxial Equipment

Mallonga Priskribo:

Produkta enkonduko kaj uzo: Konektita kvarco tubo, povas pasi gason por stiri la pleto bazo rotacio, temperaturo kontrolo

Aparato loko de la produkto: en la reakcia ĉambro, ne en rekta kontakto kun la oblato

Ĉefaj kontraŭfluaj produktoj: potencaj aparatoj

Ĉefa fina merkato: novenergiaj veturiloj

 


Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

SiC Tegita Grafito Duonluna Partois a ŝlosilokomponento uzita en semikonduktaĵproduktadprocezoj, precipe por SiC epitaksia ekipaĵo.Ni uzas nian patentitan teknologion por fari la duonlunonekstreme alta pureco,bonategaĵounuformecokaj bonega servodaŭro, same kielalta kemia rezisto kaj termika stabileco propraĵoj.

VET Energio estas lavera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun CVD-tegaĵo,povas provizidiversajpersonecigitaj partoj por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio. Our teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojnpor vi.

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn,kajellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Faĵoj de niaj produktoj:

1. Alta temperatura oksida rezisto ĝis 1700.
2. Alta pureco kajtermika unuformeco
3. Bonega koroda rezisto: acida, alkala, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa serva vivo kaj pli daŭra

CVD SiC薄膜基本物理性能

Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo

性质 / Proprieto

典型数值 / Tipa Valoro

晶体结构 / Kristala Strukturo

FCC β-fazo多晶,主要为(111)取向

密度 / Denso

3,21 g/cm³

硬度 / Malmoleco

2500 维氏硬度(500g ŝarĝo)

晶粒大小 / Grain Size

2~10μm

纯度 / Kemia Pureco

99,99995 %

热容 / Varmo Kapacito

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimiga Temperaturo

2700℃

抗弯强度 / Fleksa Forto

415 MPa RT 4-punkto

杨氏模量 / Modulo de Young

430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃

导热系数 / ThermalKondukto

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varme bonvenigas vin viziti nian fabrikon, ni plu diskutos!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Antaŭa:
  • Sekva:

  • Enreta Babilejo de WhatsApp!