Επικάλυψη SiC/Επιστρωμένο Υπόστρωμα Γραφίτη/Δίσκος για Ημιαγωγούς

Σύντομη περιγραφή:

Το VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα, αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρετών.


Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Επικάλυψη SiC/επικάλυψη από γραφίτη υποδοχέα για ημιαγωγούς
 
ΟΥπόστρωμα γραφίτη με επικάλυψη SiCείναι μια εξαιρετικά ανθεκτική και αποτελεσματική λύση που έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της βιομηχανίας επεξεργασίας ημιαγωγών. Διαθέτει στρώμα υψηλής καθαρότηταςεπίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC)., αυτό το υπόστρωμα προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, αντοχή στην οξείδωση και παρατεταμένη διάρκεια ζωής, καθιστώντας το ιδανικό για εφαρμογές σε διεργασίες MOCVD, φορείς πλακιδίων γραφίτη και άλλα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

 Χαρακτηριστικά: 
· Εξαιρετική αντοχή στο θερμικό σοκ
· Άριστη φυσική αντοχή σε κραδασμούς
· Εξαιρετική χημική αντοχή
· Σούπερ Υψηλή Καθαρότητα
· Διαθεσιμότητα σε σύνθετο σχήμα
·Χρήσιμο υπό Οξειδωτική Ατμόσφαιρα

Εφαρμογή:

3

Χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα προϊόντος:

1. Ανώτερη θερμική αντίσταση:Με υψηλή καθαρότηταΕπικάλυψη SiC, το υπόστρωμα αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες, εξασφαλίζοντας σταθερή απόδοση σε απαιτητικά περιβάλλοντα όπως η επιταξία και η κατασκευή ημιαγωγών.

2. Ενισχυμένη αντοχή:Τα εξαρτήματα γραφίτη με επίστρωση SiC είναι σχεδιασμένα να αντέχουν στη χημική διάβρωση και την οξείδωση, αυξάνοντας τη διάρκεια ζωής του υποστρώματος σε σύγκριση με τα τυπικά υποστρώματα γραφίτη.

3. Γραφίτης με επικάλυψη υαλοειδούς:Η μοναδική υαλοειδική δομή τουΕπικάλυψη SiCπαρέχει εξαιρετική σκληρότητα επιφάνειας, ελαχιστοποιώντας τη φθορά κατά την επεξεργασία σε υψηλές θερμοκρασίες.

4. Επικάλυψη SiC υψηλής καθαρότητας:Το υπόστρωμά μας εξασφαλίζει ελάχιστη μόλυνση σε ευαίσθητες διεργασίες ημιαγωγών, προσφέροντας αξιοπιστία για βιομηχανίες που απαιτούν αυστηρή καθαρότητα υλικού.

5. Εφαρμογή ευρείας αγοράς:ΟΥποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiCΗ αγορά συνεχίζει να αυξάνεται καθώς αυξάνεται η ζήτηση για προηγμένα προϊόντα με επίστρωση SiC στην κατασκευή ημιαγωγών, τοποθετώντας αυτό το υπόστρωμα ως βασικό παράγοντα τόσο στην αγορά των φορέων γκοφρέτας γραφίτη όσο και στην αγορά δίσκων γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου του πυριτίου.

Τυπικές ιδιότητες του βασικού υλικού γραφίτη:

Φαινόμενη πυκνότητα: 1,85 g/cm3
Ηλεκτρική αντίσταση: 11 μΩm
Καμπτική δύναμη: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Σκληρότητα ακτή: 58
Φλαμουριά: <5 σελ./λεπτό
Θερμική αγωγιμότητα: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση

性质 / Ιδιοκτησία

典型数值 / Τυπική τιμή

晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή

FCC β φάση 多晶,主要为(111)取向

密度 / Πυκνότητα

3,21 g/cm³

硬度 / Σκληρότητα

2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Χημική Καθαρότητα

99,99995%

热容 / Θερμοχωρητικότητα

640 J·kg-1·Κ-1

升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης

2700℃

抗弯强度 / Καμπτική αντοχή

415 MPa RT 4 σημείων

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃

导热系数 / Θερμική αγωγιμότητα

300 W·m-1·Κ-1

热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με διαφορετικές επικαλύψεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., μπορεί να παρέχει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για την παροχή πιο προηγμένων υλικών και έχουμε επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • WhatsApp Online Chat!