Δίσκος επιταξιακού φύλλου καρβιδίου πυριτίου για επιταξιακό φούρνο ημιαγωγών

Σύντομη περιγραφή:

Ο επιταξιακός δίσκος καρβιδίου πυριτίου VET Energy είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα, αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρέτας.


Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

SiC-επαγωγείς1
SiC-επαγωγείς2

Ο δίσκος φύλλου καρβιδίου του πυριτίου είναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Χρησιμοποιούμε την πατενταρισμένη τεχνολογία μας για να φτιάξουμε το δίσκο φύλλου καρβιδίου του πυριτίου με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και ιδιότητες υψηλής χημικής αντοχής και θερμικής σταθερότητας.

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με διαφορετικές επικαλύψεις όπως SiC, Tac, πυρολυτικό άνθρακα, υαλώδη άνθρακα κ.λπ., μπορεί να παρέχει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία. Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για την παροχή πιο προηγμένων υλικών και έχουμε επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:

1. Αντίσταση οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: αντιδραστήρια οξύ, αλκάλια, αλάτι και οργανικά.

4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικό

CVD SiC薄膜基本物理性能

Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση

性质 / Περιουσία

典型数值 / Τυπική τιμή

晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή

FCC β φάση多晶,主要为(111)取向

密度 / Πυκνότητα

3,21 g/cm³

硬度 / Σκληρότητα

2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Χημική Καθαρότητα

99,99995%

热容 / Θερμοχωρητικότητα

640 J·kg-1·Κ-1

升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης

2700℃

抗弯强度 / Καμπτική αντοχή

415 MPa RT 4 σημείων

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃

导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο

300 W·m-1·Κ-1

热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • WhatsApp Online Chat!