Φορέας / Υποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiC

Επιλεγμένη εικόνα φορέας/υποδοχέα γραφίτη με επικάλυψη SiC

Σύντομη περιγραφή:

Το VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα.Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα, αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρέτας.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Το επικαλυμμένο με SiC suscetpor είναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.Χρησιμοποιούμε την κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία μας για να φτιάξουμε το suscetpor με επικάλυψη SiC με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και ιδιότητες υψηλής χημικής αντοχής και θερμικής σταθερότητας.

Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:

1. Αντίσταση οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: αντιδραστήρια οξύ, αλκάλια, αλάτι και οργανικά.
4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικό

CVD SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση
性质 / Περιουσία	典型数值 / Τυπική αξία
晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση多晶，主要为（111）取向
密度 / Πυκνότητα	3,21 g/cm³
硬度 / Σκληρότητα	2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Χημική Καθαρότητα	99,99995%
热容 / Θερμοχωρητικότητα	640 J·kg^-1·Κ^-1
升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης	2700℃
抗弯强度 / Δύναμη κάμψης	415 MPa RT 4 σημείων
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃
导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο	300 W·m^-1·Κ^-1
热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)	4,5×10^-6K^-1