PECVD Δίσκος φόρτωσης απόθεσης γραφίτη

PECVD Φόρτωση δίσκου Εναπόθεση γραφίτη Επιλεγμένη εικόνα

Σύντομη περιγραφή:

Ο δίσκος φόρτωσης PECVD της VET Energy έχει σχεδιαστεί για να παρέχει ασφαλή και ομοιόμορφη υποστήριξη για γκοφρέτες κατά την εναπόθεση, βελτιώνοντας τη συνέπεια και την ποιότητα της διαδικασίας εναπόθεσης. Χάρη στην εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, ο δίσκος γραφίτη βοηθά στη διατήρηση ενός ελεγχόμενου περιβάλλοντος μέσα στους θαλάμους PECVD, μειώνοντας τον κίνδυνο μόλυνσης και εξασφαλίζοντας υψηλή απόδοση της διαδικασίας.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Ο δίσκος φόρτωσης VET Energy PECVD είναι ένας φορέας ακριβείας που έχει σχεδιαστεί για τη διαδικασία PECVD (ενισχυμένη με πλάσμα χημική εναπόθεση ατμών). Αυτός ο δίσκος γραφίτη απόθεσης υψηλής ποιότητας είναι κατασκευασμένος από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας και υψηλής πυκνότητας. Έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά. Μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα φορέα για τη διαδικασία PECVD και να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της εναπόθεσης φιλμ.

Οι δίσκοι φόρτωσης VET Energy PECVD χρησιμοποιούνται ευρέως σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, LED και άλλους τομείς. Για παράδειγμα:

▪ Ημιαγωγός: διεργασία PECVD για υλικά ημιαγωγών όπως γκοφρέτες πυριτίου και επιταξιακές γκοφρέτες.

▪ Φωτοβολταϊκά: διαδικασία PECVD για λεπτές μεμβράνες ηλιακών κυψελών.

▪ LED: διαδικασία PECVD για τσιπ LED.

Πλεονεκτήματα προϊόντος

▪Βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ:Εξασφαλίστε ομοιόμορφη εναπόθεση του φιλμ και βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ.

▪Παράταση ζωής εξοπλισμού:Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού PECVD.

▪Μειώστε το κόστος παραγωγής:Οι δίσκοι γραφίτη υψηλής ποιότητας μπορούν να μειώσουν το ποσοστό σκραπ και να μειώσουν το κόστος παραγωγής.

Υλικό γραφίτη από SGL:

Τυπική παράμετρος: R6510
Δείκτης	Πρότυπο δοκιμής	Αξία	Μονάδα
Μέσο μέγεθος κόκκου	ISO 13320	10	μm
Χύδην πυκνότητα	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Ανοιχτό πορώδες	DIN66133	10	%
Μεσαίο μέγεθος πόρων	DIN66133	1.8	μm
Διαπερατό	DIN 51935	0,06	cm²/s
Σκληρότητα Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Αντοχή σε κάμψη	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Αντοχή σε θλίψη	DIN 51910	130	MPa
μέτρο του Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Θερμική διαστολή (20-200℃)	DIN 51909	4,2Χ10^-6	K^-1
Θερμική αγωγιμότητα (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία γκοφρέτας μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερους ρυθμούς απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.

Είδος	Τύπος	Αριθμός φορέας γκοφρέτας
PEVCD Grephite boat - The 156 series	156-13 σκάφος grephite	144
	Σκάφος grephite 156-19	216
	156-21 σκάφος grephite	240
	156-23 βάρκα γραφίτη	308
PEVCD Grephite boat - The 125 series	125-15 σκάφος grephite	196
	Σκάφος grephite 125-19	252
	125-21 γρφίτη σκάφος	280