Υποστήριξη PECVD Graphite Wafer

PECVD Graphite Wafer Support Προτεινόμενη εικόνα

Σύντομη περιγραφή:

Σχεδιασμένο για ακρίβεια και απόδοση, το Graphite Wafer Support της VET Energy είναι το ιδανικό υλικό για χρήση στην προηγμένη επεξεργασία πλακιδίων, όπου η υψηλή θερμική σταθερότητα και η σταθερή απόδοση είναι ζωτικής σημασίας. Είτε εργάζεστε με γκοφρέτες ημιαγωγών είτε με άλλα ευαίσθητα υποστρώματα, αυτό το στήριγμα γραφίτη υψηλής ποιότητας θα βελτιώσει την αξιοπιστία της διαδικασίας και την ποιότητα του προϊόντος σας, καθιστώντας το απαραίτητο συστατικό για τη σύγχρονη κατασκευή.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Το στήριγμα γραφίτη διεργασίας VET Energy PECVD είναι ένα αναλώσιμο πυρήνα σχεδιασμένο για τη διαδικασία PECVD (ενισχυμένη με πλάσμα χημική εναπόθεση ατμών). Αυτό το προϊόν είναι κατασκευασμένο από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας, υψηλής πυκνότητας, με εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά, μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα υποστήριξης για τη διαδικασία PECVD, για να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της απόθεσης φιλμ.

Ο σχεδιασμός "υποστήριξης γραφίτη" της υποστήριξης πλακιδίων γραφίτη VET Energy όχι μόνο μπορεί να υποστηρίξει αποτελεσματικά τη γκοφρέτα, αλλά και να παρέχει θερμική σταθερότητα στο περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης PECVD για να εξασφαλίσει τη σταθερότητα της διαδικασίας.

Το στήριγμα γραφίτη διεργασίας VET Energy PECVD έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

▪Υψηλή καθαρότητα:εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, αποφύγετε τη μόλυνση του φιλμ, για να εξασφαλίσετε την ποιότητα του φιλμ.

▪Υψηλή πυκνότητα:υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, μπορεί να αντέξει υψηλή θερμοκρασία και υψηλή πίεση περιβάλλον PECVD.

▪Καλή σταθερότητα διαστάσεων:μικρές αλλαγές διαστάσεων σε υψηλή θερμοκρασία για να διασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

▪Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα:μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση της γκοφρέτας.

▪Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση:Ικανό να αντιστέκεται στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.

▪Προσαρμοσμένη υπηρεσία:Οι πίνακες υποστήριξης γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών.

Υλικό γραφίτη από SGL:

Τυπική παράμετρος: R6510
Δείκτης	Πρότυπο δοκιμής	Αξία	Μονάδα
Μέσο μέγεθος κόκκου	ISO 13320	10	μm
Χύδην πυκνότητα	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Ανοιχτό πορώδες	DIN66133	10	%
Μεσαίο μέγεθος πόρων	DIN66133	1.8	μm
Διαπερατό	DIN 51935	0,06	cm²/s
Σκληρότητα Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Αντοχή σε κάμψη	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Αντοχή σε θλίψη	DIN 51910	130	MPa
μέτρο του Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Θερμική διαστολή (20-200℃)	DIN 51909	4,2Χ10^-6	K^-1
Θερμική αγωγιμότητα (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία γκοφρέτας μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερους ρυθμούς απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.

Είδος	Τύπος	Αριθμός φορέας γκοφρέτας
PEVCD Grephite boat - The 156 series	156-13 σκάφος grephite	144
	Σκάφος grephite 156-19	216
	156-21 σκάφος grephite	240
	156-23 βάρκα γραφίτη	308
PEVCD Grephite boat - The 125 series	125-15 σκάφος grephite	196
	Σκάφος grephite 125-19	252
	125-21 γρφίτη σκάφος	280