Στήριγμα γκοφρέτας υποστρώματος γραφίτη για PECVD

Το VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder είναι ένας φορέας ακριβείας που έχει σχεδιαστεί για τη διαδικασία PECVD (Πλάσμα Ενισχυμένη Χημική Εναπόθεση Ατμών). Αυτή η θήκη υποστρώματος γραφίτη υψηλής ποιότητας είναι κατασκευασμένη από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας, υψηλής πυκνότητας, με εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά. Μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα υποστήριξης για τη διαδικασία PECVD και να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της εναπόθεσης φιλμ.

Ο πίνακας στήριξης γκοφρέτας γραφίτη διεργασίας VET Energy PECVD έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

▪Υψηλή καθαρότητα:εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, αποφύγετε τη μόλυνση του φιλμ, εξασφαλίστε την ποιότητα του φιλμ.

▪Υψηλή πυκνότητα:υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, μπορεί να αντέξει υψηλή θερμοκρασία και υψηλή πίεση περιβάλλον PECVD.

▪Καλή σταθερότητα διαστάσεων:μικρή αλλαγή διαστάσεων σε υψηλή θερμοκρασία, εξασφαλίζοντας σταθερότητα της διαδικασίας.

▪Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα:μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση της γκοφρέτας.

▪Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση:μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.

▪Προσαρμοσμένη υπηρεσία:Οι πίνακες υποστήριξης γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών.

Πλεονεκτήματα προϊόντος

▪Βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ:Εξασφαλίστε ομοιόμορφη εναπόθεση του φιλμ και βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ.

▪Παράταση ζωής εξοπλισμού:Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού PECVD.

▪Μειώστε το κόστος παραγωγής:Οι δίσκοι γραφίτη υψηλής ποιότητας μπορούν να μειώσουν το ποσοστό σκραπ και να μειώσουν το κόστος παραγωγής.