Siliziumwafer
von Sitronic
AWaffelEin Einkristall ist eine etwa 1 Millimeter dicke Siliziumscheibe mit einer extrem ebenen Oberfläche, die durch technisch anspruchsvolle Verfahren erzielt wird. Die weitere Verwendung bestimmt das anzuwendende Kristallzuchtverfahren. Beim Czochralski-Verfahren beispielsweise wird polykristallines Silizium geschmolzen und ein stiftdünner Impfkristall in die Schmelze eingetaucht. Anschließend wird der Impfkristall gedreht und langsam nach oben gezogen. So entsteht ein sehr schwerer Koloss, ein Einkristall. Dessen elektrische Eigenschaften lassen sich durch Zugabe geringer Mengen hochreiner Dotierstoffe gezielt einstellen. Die Kristalle werden gemäß den Kundenspezifikationen dotiert, poliert und in Scheiben geschnitten. Nach verschiedenen weiteren Produktionsschritten erhält der Kunde die spezifizierten Wafer in einer speziellen Verpackung, die ihm die Verwendung ermöglicht.Waffelsofort in die Produktionslinie aufgenommen.
Heute wird ein Großteil der Silizium-Einkristalle nach dem Czochralski-Verfahren gezüchtet. Dabei wird polykristallines, hochreines Silizium in einem hochreinen Quarztiegel geschmolzen und das Dotierungsmittel (üblicherweise Bor, Phosphor, Arsen oder Antimon) zugegeben. Ein dünner, einkristalliner Impfkristall wird in das flüssige Silizium eingetaucht. Aus diesem dünnen Kristall wächst dann ein großer Czochralski-Kristall. Die präzise Steuerung der Temperatur und des Flusses des flüssigen Siliziums, der Rotation von Kristall und Tiegel sowie der Ziehgeschwindigkeit des Kristalls führt zu einem monokristallinen Siliziumblock von extrem hoher Qualität.
Veröffentlichungsdatum: 03.06.2021