Tantalcarbid belagt susceptor til wafer

Kort beskrivelse:

Semicera er førende inden for højtemperatur materialebeskyttelsesteknologi, og vi er stolte af at introducere CVD Tantalum Carbide (TaC) belægningsprodukter for at give pålidelig højtemperaturbeskyttelse til dine grafitunderlag.Grafit er et fremragende højtemperaturbestandigt materiale, men det er tilbøjeligt til at oxidere ved høje temperaturer, hvilket ikke helt kan undgås selv i en vakuumovn.Vores CVD Tantalum Carbide (TaC) belægning kan effektivt forhindre oxidation af grafitsubstratet, samtidig med at dens fremragende ydeevne ved høje temperaturer bevares.TaC er også et inert materiale, der kan modstå reaktioner med gasser som argon og brint.Kontakt Semicera i dag for at lære mere om vores tantalcarbid CVD coated EPI susceptorer for at sikre stabiliteten og pålideligheden af dine højtemperaturapplikationer.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produkt Tags

TaC belægning er en slags tantalcarbid (TaC) belægning fremstillet ved fysisk dampaflejringsteknologi, den har følgende egenskaber:

1. Høj hårdhed: TaC belægningshårdhed er høj, kan normalt nå 2500-3000HV, er en fremragende hård belægning.

2. Slidstyrke: TaC belægning er meget slidstærk, hvilket effektivt kan reducere slid og beskadigelse af mekaniske dele under brug.

3. God modstandsdygtighed over for høje temperaturer: TaC-belægning kan også opretholde sin fremragende ydeevne under høje temperaturer.

4. God kemisk stabilitet: TaC coating har god kemisk stabilitet og kan modstå mange kemiske reaktioner, såsom syrer og baser.

Tantalcarbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysiske egenskaber ved TaC belægning
密度/ Massefylde	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Specifik emissivitet	0,3
热膨胀系数 / Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Hårdhed (HK)	2000 HK
电阻 / Modstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Termisk stabilitet	<2500℃
石墨尺寸变化 / Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
涂层厚度 / Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på produktion og salg af avancerede materialer, materialer og teknologi, der dækker grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling og så videre.Produkterne er meget udbredt inden for fotovoltaik, halvledere, ny energi, metallurgi osv.

Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!