Wafer susceptor med TaC belægning til G5 G10

Kort beskrivelse:

Semicera er førende i halvlederindustrien med en innovativ linje af tantalcarbid (TaC) produkter, der opfylder de stadigt skærpede krav til halvlederprocesser.Uanset om de står over for epitaksiale procestemperaturer på over 2000 grader Celsius eller sublimeringsproblemer med traditionelle materialer, giver vores CvD tantalcarbid (TaC) en pålidelig løsning.Vores produkter kan modstå ekstreme temperaturer op til 2300 grader Celsius og giver fremragende levetid.Ved at kontakte Semicera kan du lære mere om vores avancerede løsninger, herunder skræddersyede muligheder for tantalkarbidbelagte dækplader.Vi er forpligtet til at levere pålidelig beskyttelse og fremragende ydeevne til din halvlederproces for at hjælpe dig med at få succes på det stærkt konkurrenceprægede marked.


Produktdetaljer

Produkt Tags

TaC belægning er en slags tantalcarbid (TaC) belægning fremstillet ved fysisk dampaflejringsteknologi, den har følgende egenskaber:

1. Høj hårdhed: TaC belægningshårdhed er høj, kan normalt nå 2500-3000HV, er en fremragende hård belægning.

2. Slidstyrke: TaC belægning er meget slidstærk, hvilket effektivt kan reducere slid og beskadigelse af mekaniske dele under brug.

3. God modstandsdygtighed over for høje temperaturer: TaC-belægning kan også opretholde sin fremragende ydeevne under høje temperaturer.

4. God kemisk stabilitet: TaC coating har god kemisk stabilitet og kan modstå mange kemiske reaktioner, såsom syrer og baser.

TaC belægning16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiske egenskaber ved TaC belægning

密度/ Massefylde

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifik emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk udvidelseskoefficient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Hårdhed (HK)

2000 HK

电阻 / Modstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafitstørrelsen ændres

-10~-20um

涂层厚度 / Belægningstykkelse

≥20um typisk værdi (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på produktion og salg af avancerede materialer, materialer og teknologi, der dækker grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling og så videre.Produkterne er meget udbredt inden for fotovoltaik, halvledere, ny energi, metallurgi osv.

Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!