Wafer susceptor med TaC belægning til G5 G10

Kort beskrivelse:

VET Energy Wafer susceptor med TaC coating til G5 G10 er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

TaC belægning er en slags tantalcarbid (TaC) belægning fremstillet ved fysisk dampaflejringsteknologi, den har følgende egenskaber:

1. Høj hårdhed: TaC belægningshårdhed er høj, kan normalt nå 2500-3000HV, er en fremragende hård belægning.

2. Slidstyrke: TaC belægning er meget slidstærk, hvilket effektivt kan reducere slid og beskadigelse af mekaniske dele under brug.

3. God modstandsdygtighed over for høje temperaturer: TaC-belægning kan også opretholde sin fremragende ydeevne under høje temperaturer.

4. God kemisk stabilitet: TaC coating har god kemisk stabilitet og kan modstå mange kemiske reaktioner, såsom syrer og baser.

TaC belægning16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiske egenskaber ved TaC belægning

密度/ Tæthed

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifik emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk udvidelseskoefficient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Hårdhed (HK)

2000 HK

电阻 / Modstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafitstørrelsen ændres

-10~-20um

涂层厚度 / Belægningstykkelse

≥20um typisk værdi (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på produktion og salg af avancerede materialer, materialer og teknologi, der dækker grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling og så videre. Produkterne er meget udbredt inden for fotovoltaik, halvledere, ny energi, metallurgi osv.

Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!