SiC Wafer båd/tårn

Produktdetaljer

ProduktDskrift

Siliciumcarbid Wafer Boat er meget brugt som waferholder i højtemperaturdiffusionsprocesser.

Fordele:

Høj temperatur modstand:normal brug ved 1800 ℃

Høj varmeledningsevne:svarende til grafitmateriale

Høj hårdhed:hårdhed næst efter diamant, bornitrid

Korrosionsbestandighed:stærk syre og alkali har ingen korrosion, korrosionsbestandigheden er bedre end wolframcarbid og aluminiumoxid

Let vægt:lav densitet, tæt på aluminium

Ingen deformation: lav termisk udvidelseskoefficient

Modstandsdygtighed over for termisk stød:den kan modstå skarpe temperaturændringer, modstå termiske stød og har stabil ydeevne

SiCs fysiske egenskaber

Ejendom	Værdi	Metode
Tæthed	3,21 g/cc	Vask-flyder og dimension
Specifik varme	0,66 J/g °K	Pulserende laserblitz
Bøjningsstyrke	450 MPa560 MPa	4 punkt bøjning, RT4 punkt bøjning, 1300°
Brudsejhed	2,94 MPa m1/2	Mikroindentering
Hårdhed	2800	Vicker's, 500g belastning
Elastic Modulus Youngs Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bøjning, RT4 pt bøjning, 1300 °C
Kornstørrelse	2 – 10 µm	SEM