CVD siliciumcarbid belagt grafitring

Kort beskrivelse:

VET Energy siliciumcarbid belagt grafitring er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produkt Tags

Typiske egenskaber for basisgrafitmateriale:

Tilsyneladende tæthed:	1,85 g/cm3
Elektrisk modstand:	11 μΩm
Bøjestyrke:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hårdhed:	58
Aske:	<5 ppm
Termisk ledningsevne:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Vi leverer forskellige susceptorer og grafitkomponenter til alle nuværende epitaksereaktorer. Vores produkter inkluderer tønde-susceptorer til LPE-enheder, pandekage-susceptorer til LPE-, CSD- og Gemini-enheder og single-wafer-susceptorer til applicerede og ASM-enheder.

Ved at kombinere stærke partnerskaber med førende OEM'er, materialeekspertise og produktionsknowhow, tilbyder vet det optimale design til din applikation.

EUD Energy er deægte producent af tilpassede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligetilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. ODit tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsningerfor dig.

Fegenskaber af vores produkter:

1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700℃.
2. Høj renhed ogtermisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning
性质 / Ejendom	典型数值 / Typisk Værdi
晶体结构 / Krystalstruktur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Tæthed	3,21 g/cm³
硬度 / Hårdhed	2500 维氏硬度（500g belastning）
晶粒大小 / Kornstørrelse	2~10μm
纯度 / Kemisk renhed	99,99995 %
热容 / Varmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
导热系数 / ThermalLedningsevne	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE)	4,5×10^-6K^-1