Typiske egenskaber for basisgrafitmateriale:
| Tilsyneladende tæthed: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk modstand: | 11 μΩm |
| Bøjestyrke: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore hårdhed: | 58 |
| Aske: | <5 ppm |
| Varmeledningsevne: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Vi leverer forskellige susceptorer og grafitkomponenter til alle nuværende epitaksereaktorer.Vores produkter inkluderer tønde-susceptorer til LPE-enheder, pandekage-susceptorer til LPE-, CSD- og Gemini-enheder og single-wafer-susceptorer til applicerede og ASM-enheder.
Ved at kombinere stærke partnerskaber med førende OEM'er, materialeekspertise og produktions-knowhow, tilbyder vet det optimale design til din applikation.
EUD Energy er detægte producent af tilpassede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligetilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. ODit tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsningerfor dig.
Fegenskaber af vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700℃.
2. Høj renhed ogtermisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Massefylde | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!
