Lang levetid Siliciumcarbid waferkassette med SiC-belægning

Kort beskrivelse:

VET Energy Silicium Carbide Wafer Cassette med SiC Coating er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Egenskaber af rekrystalliseret siliciumcarbid

Omkrystalliseret siliciumcarbid (R-SiC) er et højtydende materiale med en hårdhed, der kun er næst efter diamant, som dannes ved en høj temperatur over 2000 ℃. Det bevarer mange fremragende egenskaber af SiC, såsom høj temperaturstyrke, stærk korrosionsbestandighed, fremragende oxidationsbestandighed, god termisk stødbestandighed og så videre.

● Fremragende mekaniske egenskaber. Omkrystalliseret siliciumcarbid har højere styrke og stivhed end kulfiber, høj slagfasthed, kan spille en god ydeevne i ekstreme temperaturmiljøer, kan spille en bedre modvægt i en række situationer. Derudover har den også god fleksibilitet og bliver ikke let beskadiget ved strækning og bøjning, hvilket forbedrer dens ydeevne i høj grad.

● Høj korrosionsbestandighed. Omkrystalliseret siliciumcarbid har høj korrosionsbestandighed over for en række medier, kan forhindre erosion af en række korrosive medier, kan bevare sine mekaniske egenskaber i lang tid, har en stærk vedhæftning, så den har en længere levetid. Derudover har det også god termisk stabilitet, kan tilpasse sig et vist område af temperaturændringer, forbedre dets påføringseffekt.

● Sintring krymper ikke. Fordi sintringsprocessen ikke krymper, vil ingen restspænding forårsage deformation eller revnedannelse af produktet, og dele med komplekse former og høj præcision kan fremstilles.

重结晶碳化硅物理特性

Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk Værdi

使用温度/ Arbejdstemperatur (°C)

1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)

SiC含量/ SiC indhold

> 99,96 %

自由Si含量/ Gratis Si indhold

< 0,1 %

体积密度/Bulkdensitet

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Tilsyneladende porøsitet

< 16 %

抗压强度/ Kompressionsstyrke

> 600MPa

常温抗弯强度/Koldbøjningsstyrke

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Varmbøjningsstyrke

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Termisk ekspansion @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Termisk ledningsevne @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastikmodul

240 GPa

抗热震性/ Termisk stødmodstand

Yderst god

EUD Energy er deægte producent af tilpassede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligetilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. ODit tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsningerfor dig.

Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer,oghar udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk Værdi

晶体结构 / Krystalstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tæthed

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhed

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10μm

纯度 / Kemisk renhed

99,99995 %

热容 / Varmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimationstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøjestyrke

415 MPa RT 4-punkt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsevne

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!