Siliciumcarbid belagt susceptor era nøglekomponent brugt i forskellige halvlederfremstillingsprocesser.Vi bruger vores patenterede teknologi til at lave den siliciumcarbidbelagte susceptor medekstrem høj renhed,godbelægningensartethedog en fremragende levetid, samthøj kemisk resistens og termiske stabilitetsegenskaber.
EUD Energy er deægte producent af tilpassede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligetilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. ODit tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsningerfor dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer,oghar udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Fegenskaber af vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700℃.
2. Høj renhed ogtermisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!
