SiC povlak/potažený grafitový substrát/zásobník pro polovodiče

SiC povlak/potažený grafitový substrát/zásobník pro polovodičový obrázek

Krátký popis:

VET Energy SiC potažený grafitový susceptor pro epitaxní růst je vysoce výkonný produkt navržený tak, aby poskytoval konzistentní a spolehlivý výkon po dlouhou dobu. Má velmi dobrou tepelnou odolnost a tepelnou stejnoměrnost, vysokou čistotu, odolnost proti erozi, což z něj činí perfektní řešení pro aplikace zpracování plátků.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

SiC povlak/potažený grafitovým susceptorem pro polovodiče

TheGrafitový substrát potažený SiCje vysoce odolné a efektivní řešení navržené tak, aby splňovalo přísné požadavky průmyslu zpracování polovodičů. S vrstvou vysoké čistotypovlak z karbidu křemíku (SiC).Tento substrát poskytuje výjimečnou tepelnou stabilitu, odolnost proti oxidaci a prodlouženou životnost, díky čemuž je ideální pro aplikace v procesech MOCVD, grafitových nosičích plátků a dalších vysokoteplotních prostředích.

Vlastnosti:
· Vynikající odolnost proti tepelným šokům
· Vynikající odolnost proti fyzickým nárazům
· Vynikající chemická odolnost
· Super vysoká čistota
· Dostupnost v komplexním tvaru
·Použitelné v oxidační atmosféře

Aplikace:

Vlastnosti a výhody produktu:

1. Vynikající tepelná odolnost:S vysokou čistotouSiC povlakSubstrát odolává extrémním teplotám a zajišťuje konzistentní výkon v náročných prostředích, jako je epitaxe a výroba polovodičů.

2. Zvýšená odolnost:Grafitové komponenty potažené SiC jsou navrženy tak, aby odolávaly chemické korozi a oxidaci, čímž se prodlužuje životnost substrátu ve srovnání se standardními grafitovými substráty.

3. Sklovitý grafit:Jedinečná struktura sklivceSiC povlakposkytuje vynikající tvrdost povrchu a minimalizuje opotřebení při vysokoteplotním zpracování.

4. Vysoce čistý SiC povlak:Náš substrát zajišťuje minimální kontaminaci v citlivých polovodičových procesech a nabízí spolehlivost pro průmyslová odvětví, která vyžadují přísnou čistotu materiálů.

5. Široké uplatnění na trhu:TheGrafitový susceptor potažený SiCtrh nadále roste, protože se zvyšuje poptávka po pokročilých produktech s povlakem SiC ve výrobě polovodičů, což z tohoto substrátu staví klíčového hráče jak na trhu s grafitovými destičkami, tak na trhu grafitových podnosů potažených karbidem křemíku.

Typické vlastnosti základního grafitového materiálu:

Zdánlivá hustota:	1,85 g/cm3
Elektrický odpor:	11 μΩm
Pevnost v ohybu:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdost Shore:	58
Popel:	<5 ppm
Tepelná vodivost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	FCC β fáze 多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / Tepelná vodivost	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je skutečným výrobcem přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s různými povlaky, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, povlak pyrolytického uhlíku atd., může dodávat různé přizpůsobené díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl.

Náš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže pro vás poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy pro poskytování pokročilejších materiálů a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi povlakem a substrátem těsnější a méně náchylné k oddělení.

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme dále diskutovat!