Epitaxní zásobník z karbidu křemíku pro polovodičovou epitaxní pec

Krátký popis:

Epitaxní zásobník na karbid křemíku VET Energy je vysoce výkonný produkt navržený tak, aby poskytoval konzistentní a spolehlivý výkon po dlouhou dobu. Má velmi dobrou tepelnou odolnost a tepelnou stejnoměrnost, vysokou čistotu, odolnost proti erozi, což z něj činí perfektní řešení pro aplikace zpracování plátků.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Zásobník z karbidu křemíku je klíčová součást používaná v různých procesech výroby polovodičů. Využíváme naši patentovanou technologii k výrobě plechů z karbidu křemíku s extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.

VET Energy je skutečným výrobcem přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s různými povlaky, jako je SiC, Tac, pyrolytický uhlík, skelný uhlík atd., může dodávat různé přizpůsobené díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Náš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže pro vás poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy pro poskytování pokročilejších materiálů a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi povlakem a substrátem těsnější a méně náchylné k oddělení.

Vlastnosti našich produktů:

1. Vysoká teplotní odolnost proti oxidaci až do 1700℃.
2. Vysoká čistota a tepelná jednotnost
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a odolnější

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitosti	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	FCC β fáze多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngův modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermalVodivost	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná expanze (CTE)	4,5×10^-6K^-1