PECVD nakládací tác grafitový tác

PECVD nakládací tác Depoziční grafitový tác Doporučený obrázek

Krátký popis:

Nakládací podnos PECVD společnosti VET Energy je navržen tak, aby poskytoval bezpečnou a rovnoměrnou podporu pro destičky během nanášení, čímž zlepšuje konzistenci a kvalitu procesu nanášení. Díky své vynikající tepelné odolnosti pomáhá grafitový zásobník udržovat kontrolované prostředí uvnitř komor PECVD, snižuje riziko kontaminace a zajišťuje vysokou efektivitu procesu.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

VET Energy PECVD nakládací podnos je přesný nosič určený pro proces PECVD (plasma enhancement chemical vapor deposition). Tento vysoce kvalitní nanášecí grafitový zásobník je vyroben z vysoce čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou. Má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti korozi, rozměrovou stálost a další vlastnosti. Může poskytnout stabilní nosnou platformu pro proces PECVD a zajistit rovnoměrnost a plochost nanášení filmu.

Nakládací podnosy VET Energy PECVD jsou široce používány v polovodičových, fotovoltaických, LED a dalších oborech. Například:

▪ Semiconductor: Proces PECVD pro polovodičové materiály, jako jsou křemíkové destičky a epitaxní destičky.

▪ Fotovoltaika: PECVD proces pro tenké vrstvy solárních článků.

▪ LED: Proces PECVD pro LED čipy.

Výhody produktu

▪Zlepšení kvality filmu:Zajistěte jednotné nanášení filmu a zlepšujte kvalitu filmu.

▪Prodlužte životnost zařízení:Vynikající odolnost proti korozi, prodloužení životnosti zařízení PECVD.

▪Snížit výrobní náklady:Vysoce kvalitní grafitové podnosy mohou snížit zmetkovitost a snížit výrobní náklady.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parametr: R6510
Index	Testovací standard	Hodnota	Jednotka
Průměrná velikost zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hmotnost	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otevřená pórovitost	DIN66133	10	%
Střední velikost pórů	DIN66133	1.8	μm
Propustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdost podle Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifický elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnost v ohybu	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnost v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngův modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Tepelná roztažnost (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Tepelná vodivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je speciálně navržen pro vysoce účinnou výrobu solárních článků a podporuje zpracování velkých plátků G12. Optimalizovaná konstrukce nosiče výrazně zvyšuje propustnost, umožňuje vyšší výnosy a nižší výrobní náklady.

Položka	Typ	Číslo nosiče destiček
PEVCD Grephite člun - Řada 156	156-13 grephite člun	144
	156-19 grephite člun	216
	156-21 grefitový člun	240
	156-23 grafitový člun	308
PEVCD Grephite člun – řada 125	125-15 grephite člun	196
	125-19 grephite člun	252
	125-21 grphite člun	280