Podpora grafitových destiček PECVD

Doporučený obrázek PECVD Graphite Wafer Support

Krátký popis:

Graphite Wafer Support od VET Energy, navržený pro přesnost a výkon, je ideálním materiálem pro použití při pokročilém zpracování plátků, kde je důležitá vysoká tepelná stabilita a konzistentní výkon. Ať už pracujete s polovodičovými destičkami nebo jinými choulostivými substráty, tato vysoce kvalitní grafitová podpora zvýší spolehlivost vašeho procesu a kvalitu produktu, což z ní činí nepostradatelnou součást moderní výroby.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

VET Energy Proces PECVD grafitový plátek je základní spotřební materiál navržený pro proces PECVD (plasma advanced chemical vapor deposition). Tento produkt je vyroben z vysoce čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikající odolností vůči vysokým teplotám, odolností proti korozi, rozměrovou stabilitou a dalšími vlastnostmi, může poskytnout stabilní nosnou platformu pro proces PECVD, aby byla zajištěna rovnoměrnost a rovinnost nanášení filmu.

Design "grafitové podpory" grafitové destičky VET Energy může nejen účinně podporovat destičku, ale také zajistit tepelnou stabilitu v prostředí s vysokou teplotou a vysokým tlakem PECVD, aby byla zajištěna stabilita procesu.

Procesní grafitová destička VET Energy PECVD má následující vlastnosti:

▪Vysoká čistota:extrémně nízký obsah nečistot, zabraňte kontaminaci filmu, aby byla zajištěna kvalita filmu.

▪Vysoká hustota:vysoká hustota, vysoká mechanická pevnost, vydrží vysoké teploty a vysoký tlak prostředí PECVD.

▪Dobrá rozměrová stabilita:malé rozměrové změny při vysoké teplotě pro zajištění stability procesu.

▪Vynikající tepelná vodivost:účinně přenáší teplo, aby se zabránilo přehřátí plátku.

▪Silná odolnost proti korozi:Schopný odolávat erozi různými korozivními plyny a plazmou.

▪Přizpůsobená služba:Grafitové podpěrné stoly různých velikostí a tvarů lze upravit podle potřeb zákazníka.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parametr: R6510
Index	Testovací standard	Hodnota	Jednotka
Průměrná velikost zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hmotnost	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otevřená pórovitost	DIN66133	10	%
Střední velikost pórů	DIN66133	1.8	μm
Propustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdost podle Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifický elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnost v ohybu	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnost v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngův modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Tepelná roztažnost (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Tepelná vodivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je speciálně navržen pro vysoce účinnou výrobu solárních článků a podporuje zpracování velkých plátků G12. Optimalizovaná konstrukce nosiče výrazně zvyšuje propustnost, umožňuje vyšší výnosy a nižší výrobní náklady.

Položka	Typ	Číslo nosiče destiček
PEVCD Grephite člun - Řada 156	156-13 grephite člun	144
	156-19 grephite člun	216
	156-21 grefitový člun	240
	156-23 grafitový člun	308
PEVCD Grephite člun – řada 125	125-15 grephite člun	196
	125-19 grephite člun	252
	125-21 grphite člun	280