Barca è Pedestal à Colonna Verticale

Descrizione breve:

A Columna Verticale Wafer Boat & Pedestal da vet-china offre stabilità superiore è precisione in a gestione di wafer per a fabricazione di semiconduttori. Cù u disignu avanzatu di vet-china, stu sistema assicura un allineamentu ottimale è una ritenzione sicura, aumentendu l'efficienza operativa è riducendu i danni di wafer.


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vet-china presenta l'innovativa Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, una soluzione cumpleta per u processu avanzatu di semiconductor. Cuncepitu cù una precisione meticulosa, stu sistema di gestione di wafer furnisce una stabilità è un allineamentu senza pari, cruciali per ambienti di fabricazione d'alta efficienza.

A Columna Verticale Wafer Boat & Pedestal hè custruita cù materiali di prima qualità chì guarantiscenu a stabilità termica è a resistenza à a corrosione chimica, facendu adattatu per i prucessi di fabricazione di semiconduttori più esigenti. U so designu unicu di a colonna verticale sustene i wafers in modu sicuru, riducendu u risicu di misalignamentu è dannu potenziale durante u trasportu è a trasfurmazioni.

Cù l'integrazione di vet-china's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, i pruduttori di semiconduttori ponu aspittà un rendimentu migliuratu, minimizendu i tempi di inattività, è un rendimentu aumentatu di u produttu. Stu sistema hè cumpatibile cù diverse dimensioni è cunfigurazioni di wafer, chì offre flessibilità è scalabilità per e diverse esigenze di produzzione.

L'impegnu di vet-china per l'eccellenza assicura chì ogni Barca è Pedestal di Wafer à Colonna Verticale risponde à i più alti standard di qualità è prestazione. Scegliendo questa soluzione d'avanguardia, investite in un approcciu futuru per a gestione di wafer chì maximizeghja l'efficienza è l'affidabilità in a fabricazione di semiconduttori.

Barca è Pedestal à Colonna Verticale

Pruprietà di carburu di siliciu recristallizatu

U carburu di silicium recristallizatu (R-SiC) hè un materiale d'alta prestazione cù una durezza seconda solu à u diamante, chì hè furmatu à una temperatura alta sopra 2000 ℃. Mantene assai proprietà eccellenti di SiC, cum'è a forza d'alta temperatura, una forte resistenza à a corrosione, una eccellente resistenza à l'ossidazione, una bona resistenza di scossa termale è cusì.

● Eccellente pruprietà meccanica. U carburu di siliciu recristallizatu hà una forza è una rigidità più altu ch'è a fibra di carbone, una alta resistenza à l'impattu, pò ghjucà una bona prestazione in ambienti di temperatura estrema, pò ghjucà un megliu rendimentu di contrabalance in una varietà di situazioni. Inoltre, hà ancu una bona flessibilità è ùn hè micca facilmente danatu da stende è curvatura, chì migliurà assai u so rendiment.

● Alta resistenza à a corrosione. U carburu di silicium recristallizatu hà una alta resistenza à a corrosione à una varietà di media, pò prevene l'erosione di una varietà di media corrosivi, pò mantene e so proprietà meccaniche per un bellu pezzu, hà una forte aderenza, perchè hà una vita di serviziu più longa. Inoltre, hà ancu una bona stabilità termale, pò adattà à una certa gamma di cambiamenti di temperatura, migliurà l'effettu di l'applicazione.

● A sinterizzazione ùn sminisce. Perchè u prucessu di sinterizazione ùn si riduce, nisun stress residuale pruvucarà deformazione o cracking di u pruduttu, è ponu esse preparati pezzi cù forme cumplesse è alta precisione.

重结晶碳化硅物理特性

Proprietà fisiche di Carburo di Siliciu Recristallizatu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore tipicu

使用温度/ Température de travail (°C)

1600 ° C (cù l'ossigenu), 1700 ° C (ambienti riduzzione)

SiC含量/ cuntenutu SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Free Si cuntenutu

< 0,1%

体积密度/Densità di massa

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosità apparente

< 16%

抗压强度/ Forza di cumpressione

> 600MPa

常温抗弯强度/Forza di curvatura à freddo

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Forza di curvatura calda

90-100 MPa (1400 ° C)

热膨胀系数/ Dilatazione termica @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Conduttività termica @ 1200 ° C

23W/m•K

杨氏模量/ Modulu elasticu

240 GPa

抗热震性/ Resistenza à u scossa termale

Moltu bè

VET Energy hè luveru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù rivestimentu CVD,pò furniscevariipezzi persunalizati per l'industria semiconductora è fotovoltaica. Our squadra tecnicu vene da istituzioni di ricerca naziunali superiore, ponu furnisce più suluzioni materiali prufessiunaleper tè.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati,èanu sviluppatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore tipicu

晶体结构 / Struttura di Cristalli

FCC phase β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 维氏硬度(500g di carica)

晶粒大小 / Grain Size

2 ~ 10 μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità di calore

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperature di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Forza Flexural

415 MPa RT à 4 punti

杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù

430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivity

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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