Supporto di rivestimento SiC per RTP/RTA

Breve descrizzione:

VET Energy SiC Coating Carrier For RTP/RTA hè un pruduttu d'altu rendiment cuncepitu per furnisce un rendimentu consistente è affidabile per un periudu allargatu. Hà una super bona resistenza à u calore è uniformità termica, alta purezza, resistenza à l'erosione, facendu a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazioni di wafer.

 

 


  • Locu d'origine:Cina
  • Struttura cristallina:FCCβphase
  • Densità:3,21 g/cm;
  • Durezza:2500 Vickers;
  • Grandezza di granu:2 ~ 10μm;
  • Purezza chimica:99,99995%;
  • Capacità di calore:640J·kg-1·K-1;
  • Temperatura di sublimazione:2700 ℃;
  • Forza Flessurale:415 Mpa (RT 4-Point);
  • Modulu di Young:430 Gpa (curvatura 4pt, 1300 ℃);
  • Dilatazione termica (CTE) :4,5 10-6K-1;
  • Conduttività termica:300(W/MK);
  • Detail di u produttu

    Tags di u produttu

    SiC Coating Carrier Per RTP / RTA hè un cumpunente chjave utilizatu in i prucessi di fabricazione di semiconduttori chjamati Rapid Thermal Processing & Annealing, usemu a nostra tecnulugia patentata per fà u trasportatore di carburu di siliciu cù una purezza estremamente alta, una bona uniformità di revestimentu è una vita di serviziu eccellente, cum'è cum'è una alta resistenza chimica è proprietà di stabilità termale.

    Caratteristiche di i nostri prudutti:

    1. Resistenza à l'ossidazione alta temperatura finu à 1700 ℃.
    2. Purità alta è uniformità termale
    3. Eccellente resistenza à a corrosione: acidu, alkali, sali è reagenti organici.

    4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
    5. A vita di serviziu più longa è più durable

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

    性质 / Pruprietà

    典型数值 / Valore tipicu

    晶体结构 / Struttura di Cristalli

    FCC phase β多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 维氏硬度(500g di carica)

    晶粒大小 / Grain Size

    2 ~ 10 μm

    纯度 / Purezza chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità di calore

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperature di sublimazione

    2700 ℃

    抗弯强度 / Forza Flexural

    415 MPa RT à 4 punti

    杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù

    430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalConductivity

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

    4,5 × 10-6K-1

    1

    2

    VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è rivestimentu SiC, rivestimentu TaC, rivestimentu di carbonu vetru, rivestimentu di carbone piroliticu, etc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria semiconductora è fotovoltaica.

    A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, ponu furnisce più soluzioni di materiale prufessiunale per voi.

    Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu travagliatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.

    Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!

    研发团队

     

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    公司客户


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