Vassoio di caricamento PECVD Vassoio di deposizione in grafite

PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray Featured Image

Descrizione breve:

U PECVD Loading Tray di VET Energy hè pensatu per furnisce un supportu sicuru è uniforme per i wafers durante a deposizione, migliurà a coerenza è a qualità di u prucessu di deposizione. Cù a so eccellente resistenza à u calore, u Tray di Grafite aiuta à mantene un ambiente cuntrullatu in e camere PECVD, riducendu u risicu di contaminazione è assicurendu una alta efficienza di prucessu.

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U vassou di carica VET Energy PECVD hè un trasportatore di precisione cuncepitu per u prucessu PECVD (depositu di vapore chimicu rinforzatu di plasma). Questa tavola di grafite di deposizione di alta qualità hè fatta di materiale di grafite d'alta purezza è alta densità. Hà una eccellente resistenza à a temperatura alta, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è altre caratteristiche. Pò furnisce una piattaforma di trasportatore stabile per u prucessu PECVD è assicurà l'uniformità è a piattezza di a deposizione di film.

I vassoi di carica VET Energy PECVD sò largamente usati in semiconductor, fotovoltaicu, LED è altri campi. Per esempiu:

▪ Semiconductor: prucessu PECVD per i materiali semiconductor cum'è wafers di silicium è wafer epitaxial.

▪ Fotovoltaicu : prucessu PECVD per i filmi sottili di cellule solari.

▪ LED: prucessu PECVD per chip LED.

Vantaghji di u produttu

▪Migliurà a qualità di film:Assicurà a deposizione uniforme di film è migliurà a qualità di film.

▪Allargà a vita di l'equipaggiu:Eccellente resistenza à a corrosione, estende a vita di serviziu di l'equipaggiu PECVD.

▪Riduce i costi di produzzione:I vassoi di grafite d'alta qualità ponu riduce a tarifa di scarti è riduce i costi di produzzione.

Materiale di grafite da SGL:

Parametru tipicu: R6510
Index	Test standard	Valore	Unità
Grandezza media di granu	ISO 13320	10	μm
Densità di massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosità aperta	DIN 66133	10	%
Dimensione di poru mediu	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC 60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forza Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Forza cumpressione	DIN 51910	130	MPa
Modulu di Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Dilatazione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hè specificamente cuncepitu per a fabricazione di celle solari d'alta efficienza, chì sustene a trasfurmazioni di wafer di grande dimensione G12. U disignu di u trasportatore ottimizatu aumenta significativamente a produzzione, chì permette tassi di rendimentu più altu è costi di produzzione più bassi.

Articulu	Tipu	U trasportatore di wafer numeru
Barca PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barca di grephite	144
	156-19 barca di grephite	216
	156-21 barca di grephite	240
	156-23 barca di grafite	308
Barca PEVCD Grephite - A serie 125	125-15 barca di grephite	196
	125-19 barca di grephite	252
	Barca 125-21 grphite	280