Tamburo di parte a mezzaluna rivestito in SiC utilizzato in apparecchiature epitassiali SiC

Descrizione breve:

Introduzione è usu di u produttu: tubu di quartz cunnessu, pò passà u gasu per guidà a rotazione di a basa di a tavola, u cuntrollu di a temperatura

Locu di u dispusitivu di u pruduttu: in a camera di reazzione, micca in cuntattu direttu cù l'ostia

Principali prudutti downstream: dispusitivi putenza

Mercatu di terminal principali: veiculi d'energia nova

 


Detail di u produttu

Tags di u produttu

Parte mezzaluna di grafite rivestita di SiCis a chjavecumpunente utilizatu in i prucessi di fabricazione di semiconduttori, in particulare per l'equipaggiu epitaxial SiC.Usemu a nostra tecnulugia patentata per fà a parte di a mezza lunapurezza estremamente alta,benerivestimentuuniformitàè una vita di serviziu eccellente, cum'èalta resistenza chimica è proprietà di stabilità termica.

VET Energy hè luveru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù rivestimentu CVD,pò furniscevariipezzi persunalizati per l'industria semiconductora è fotovoltaica. Our squadra tecnicu vene da istituzioni di ricerca naziunali superiore, ponu furnisce più suluzioni materiali prufessiunaleper tè.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati,èanu sviluppatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.

Fcaratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione alta temperatura finu à 1700.
2. Purità alta èuniformità termica
3. Eccellente resistenza à a corrosione: acidu, alkali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. A vita di serviziu più longa è più durable

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore tipicu

晶体结构 / Struttura di Cristalli

FCC phase β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 维氏硬度(500g di carica)

晶粒大小 / Grain Size

2 ~ 10 μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità di calore

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperature di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Forza Flexural

415 MPa RT à 4 punti

杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù

430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivity

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!

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生产设备

 

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