Part de mitja lluna de grafit recobert de SiC per a equips epitaxials de carbur de silici

Descripció breu:

Introducció i ús del producte: tub de quars connectat, pot passar gas per impulsar la rotació de la base de la safata, control de temperatura

Localització del dispositiu del producte: a la cambra de reacció, no en contacte directe amb l'hòstia

Principals productes aigües avall: dispositius d'alimentació

Principal mercat terminal: vehicles de nova energia

 


Detall del producte

Etiquetes de producte

Part de mitja lluna de grafit recobert de SiCis a claucomponent utilitzat en processos de fabricació de semiconductors, especialment per a equips epitaxials de SiC.Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fer part de la mitja llunapuresa extremadament alta,borecobrimentuniformitati una excel·lent vida útil, així comalta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.

L'Energia VET és elfabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb recobriment CVD,pot subministrardiversospeces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica. OEl nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, pot oferir solucions materials més professionalsper tu.

Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats,ihan elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.

Fcaracterístiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura fins a 1700.
2. Alta puresa iuniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més duradora

CVD SiC薄膜基本物理性能

Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment

性质 / Propietat

典型数值 / Valor típic

晶体结构 / Estructura de cristall

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitat

3,21 g/cm³

硬度 / Duresa

2500 维氏硬度(càrrega de 500 g)

晶粒大小 / Mida del gra

2 ~ 10 μm

纯度 / Puresa química

99,99995%

热容 / Capacitat calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimació

2700 ℃

抗弯强度 / Resistència a la flexió

415 MPa RT de 4 punts

杨氏模量 / Mòdul de joventut

430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivitat

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Us donem la benvinguda a visitar la nostra fàbrica, anem a parlar més!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Anterior:
  • Següent:

  • Xat en línia de WhatsApp!