Suscetpor obložen SiC ključna je komponenta koja se koristi u različitim proizvodnim procesima poluvodiča. Koristimo našu patentiranu tehnologiju da napravimo suscetpor obložen SiC-om sa izuzetno visokom čistoćom, dobrom uniformnošću premaza i odličnim vijekom trajanja, kao i visokom kemijskom otpornošću i svojstvima termičke stabilnosti.
Karakteristike naših proizvoda:
1. Otpornost na oksidaciju visoke temperature do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička uniformnost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje | |
| 性质 / Nekretnina | 典型数值 / Tipična vrijednost |
| 晶体结构 / Kristalna struktura | FCC β faza多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Gustina | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdoća | 2500 维氏硬度 (500g opterećenje) |
| 晶粒大小 / Veličina zrna | 2~10μm |
| 纯度 / Hemijska čistoća | 99,99995% |
| 热容 / Toplotni kapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sublimacije | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje | 415 MPa RT 4 tačke |
| 杨氏模量 / Youngov modul | 430 Gpa 4pt krivina, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalProvodljivost | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / termička ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!
