Neujednačenost ionskog bombardiranja
Suhabakropisje obično proces koji kombinuje fizičke i hemijske efekte, u kojem je ionsko bombardovanje važna metoda fizičkog jetkanja. Tokomproces graviranja, upadni ugao i raspodjela energije jona mogu biti neravnomjerni.
Ako je ugao upada jona različit na različitim pozicijama na bočnoj stijenci, učinak jetkanja jona na bočnoj stijenci također će biti različit. U područjima sa većim uglovima upada jona, efekat jetkanja jona na bočnoj stijenci je jači, što će uzrokovati da se bočni zid u ovoj oblasti više ugravira, uzrokujući savijanje bočne stijenke. Osim toga, neravnomjerna raspodjela energije jona također će proizvesti slične efekte. Joni sa većom energijom mogu efikasnije ukloniti materijale, što rezultira nedosljednošćubakropisstepena bočne stijenke na različitim pozicijama, što zauzvrat uzrokuje savijanje bočne stijenke.
Uticaj fotorezista
Fotorezist igra ulogu maske u suhom nagrizanju, štiteći područja koja nije potrebno jetkati. Međutim, fotorezist je također pod utjecajem bombardiranja plazme i kemijskih reakcija tokom procesa jetkanja, a njegove performanse se mogu promijeniti.
Ako je debljina fotorezista neujednačena, stopa potrošnje tokom procesa jetkanja je nedosljedna, ili je prianjanje između fotorezista i podloge različito na različitim lokacijama, to može dovesti do neujednačene zaštite bočnih zidova tokom procesa jetkanja. Na primjer, područja s tanjim fotootporom ili slabijim prianjanjem mogu olakšati urezivanje temeljnog materijala, uzrokujući savijanje bočnih zidova na tim lokacijama.
Razlike u svojstvima materijala podloge
Sam materijal urezane podloge može imati različita svojstva, kao što su različite orijentacije kristala i koncentracije dopinga u različitim regijama. Ove razlike će uticati na brzinu jetkanja i selektivnost jetkanja.
Na primjer, u kristalnom silicijumu, raspored atoma silicija u različitim kristalnim orijentacijama je različit, a njihova reaktivnost i brzina nagrizanja s plinom za jetkanje također će biti različiti. Tokom procesa jetkanja, različite brzine jetkanja uzrokovane razlikama u svojstvima materijala učinit će dubinu jetkanja bočnih zidova na različitim lokacijama nekonzistentnom, što u konačnici dovodi do savijanja bočnih zidova.
Faktori vezani za opremu
Performanse i status opreme za jetkanje također imaju važan utjecaj na rezultate jetkanja. Na primjer, problemi kao što su neravnomjerna raspodjela plazme u reakcionoj komori i neravnomjerno trošenje elektroda mogu dovesti do neravnomjerne raspodjele parametara kao što su gustina jona i energija na površini pločice tokom jetkanja.
Osim toga, neravnomjerna kontrola temperature opreme i male fluktuacije u protoku plina također mogu utjecati na ujednačenost jetkanja, što dovodi do savijanja bočne stijenke.
Vrijeme objave: Dec-03-2024