Kao što je gore prikazano, tipično je
prvo poluvrijeme:
Grijaći element (zavojnica) : smješten oko cijevi peći, obično napravljen od otpornih žica, koji se koriste za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.
Kvarcna cijev: Jezgro peći za vruću oksidaciju, napravljeno od kvarca visoke čistoće koji može izdržati visoke temperature i ostati kemijski inertan.
Dovod plina: Smješten na gornjem ili bočnom dijelu cijevi peći, koristi se za transport kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.
SS prirubnica: komponente koje povezuju kvarcne cijevi i plinovode, osiguravajući nepropusnost i stabilnost veze.
Linije za dovod plina: Cijevi koje povezuju MFC sa priključkom za dovod plina za prijenos plina.
MFC (Mass Flow Controller) : Uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi precizno regulirao potrebnu količinu plina.
Odzračivanje: Koristi se za odzračivanje ispušnih plinova iz unutrašnjosti cijevi peći prema vanjskoj strani opreme.
Donji dio
Silicijumske pločice u držaču: Silikonske pločice su smeštene u poseban držač kako bi se obezbedila ujednačena toplota tokom oksidacije.
Držač pločice: Koristi se za držanje silikonske pločice i osigurava da silikonska pločica ostane stabilna tokom procesa.
Postolje: Struktura koja drži držač silikonske pločice, obično napravljen od materijala otpornog na visoke temperature.
Elevator: Koristi se za podizanje držača vafla u i iz kvarcnih cijevi za automatsko utovar i istovar silikonskih pločica.
Robot za prijenos vafla: smješten sa strane uređaja cijevi peći, koristi se za automatsko uklanjanje silikonske pločice iz kutije i postavljanje u cijev peći ili uklanjanje nakon obrade.
Vrteški vrtuljak za pohranu kaseta: vrtuljak za pohranu kaseta se koristi za skladištenje kutije koja sadrži silikonske pločice i može se rotirati za pristup robotu.
Kaseta za vafle: kaseta za vafle se koristi za pohranjivanje i prijenos silikonskih vafla koje se obrađuju.
Vrijeme objave: Apr-22-2024