Kao što je gore prikazano, tipično je
prvo poluvrijeme:
▪ Grijaći element (grijač) :
smještene oko cijevi peći, obično napravljene od otpornih žica, koje se koriste za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.
▪ Kvarcna cijev:
Jezgro peći za vruću oksidaciju, napravljeno od kvarca visoke čistoće koji može izdržati visoke temperature i ostati kemijski inertan.
▪ Napajanje plinom:
Smješten na gornjem ili bočnom dijelu cijevi peći, koristi se za transport kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.
▪ SS prirubnica:
komponente koje povezuju kvarcne cijevi i plinovode, osiguravajući nepropusnost i stabilnost veze.
▪ Cijevi za dovod plina:
Cijevi koje povezuju MFC sa priključkom za dovod plina za prijenos plina.
▪ MFC (kontrolor protoka mase):
Uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi precizno regulirao potrebnu količinu plina.
▪ Ventilacija:
Koristi se za odzračivanje ispušnih plinova iz unutrašnjosti cijevi peći prema vanjskoj strani opreme.
Donji dio:
▪ Silikonske pločice u držaču:
Silicijumske pločice su smeštene u poseban držač kako bi se obezbedila ujednačena toplota tokom oksidacije.
▪ Držač vafla:
Koristi se za držanje silikonske pločice i osigurava da silikonska pločica ostane stabilna tokom procesa.
▪ Postolje:
Struktura koja drži držač silikonske pločice, obično napravljen od materijala otpornog na visoke temperature.
▪ Lift:
Koristi se za podizanje držača vafla u i iz kvarcnih cijevi za automatsko punjenje i istovar silikonskih pločica.
▪ Robot za prijenos vafla:
koji se nalazi sa strane uređaja za cijev peći, koristi se za automatsko uklanjanje silikonske pločice iz kutije i njeno postavljanje u cijev peći ili uklanjanje nakon obrade.
▪ vrtuljak za pohranu kaseta:
Vrtuljak za skladištenje kaseta koristi se za skladištenje kutije koja sadrži silikonske pločice i može se rotirati za pristup robotu.
▪ Vafer kaseta:
wafer kaseta se koristi za skladištenje i prijenos silikonskih vafla koje se obrađuju.
Vrijeme objave: Apr-22-2024