Silikonska pločica od 8 inča tipa P iz VET Energy je silikonska pločica visokih performansi dizajnirana za širok spektar primjena u poluvodiču, uključujući solarne ćelije, MEMS uređaje i integrirana kola. Poznata po svojoj odličnoj električnoj provodljivosti i doslednim performansama, ova pločica je poželjan izbor za proizvođače koji žele da proizvode pouzdane i efikasne elektronske komponente. VET Energy osigurava precizne nivoe dopinga i visokokvalitetnu završnu obradu površine za optimalnu proizvodnju uređaja.
Ove 8-inčne silikonske pločice tipa P potpuno su kompatibilne sa različitim materijalima kao što su SiC supstrat, SOI ploča, SiN supstrat i pogodni su za rast Epi pločica, osiguravajući svestranost za napredne procese proizvodnje poluvodiča. Oblatne se također mogu koristiti u kombinaciji s drugim visokotehnološkim materijalima kao što su Gallium Oxide Ga2O3 i AlN Wafer, što ih čini idealnim za elektronske aplikacije sljedeće generacije. Njihov robustan dizajn se takođe neprimetno uklapa u sisteme zasnovane na kasetama, obezbeđujući efikasno rukovanje proizvodnjom velikog obima.
VET Energy kupcima pruža prilagođena rješenja za pločice. Možemo prilagoditi oblatne različite otpornosti, sadržaja kisika, debljine itd. prema specifičnim potrebama kupaca. Osim toga, pružamo i profesionalnu tehničku podršku i postprodajne usluge kako bismo pomogli kupcima da riješe različite probleme na koje se susreću tokom proizvodnog procesa.
SPECIFIKACIJE VAFIRANJA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Apsolutna vrijednost | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
ZAVRŠNA POVRŠINA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Završna obrada | Dvostrani optički lak, Si-Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Ništa nije dozvoljeno (dužina i širina≥0,5 mm) | ||||
Uvlake | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Ogrebotine (Si-Face) | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | ||
Pukotine | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Edge Exclusion | 3mm |