4 inča GaN na SiC pločici

Kratak opis:

VET Energy-ov 4-inčni GaN na SiC pločici je revolucionarni proizvod u području energetske elektronike. Ova pločica kombinuje odličnu toplotnu provodljivost silicijum karbida (SiC) sa velikom gustinom snage i malim gubitkom galijum nitrida (GaN), što je čini idealnim izborom za izradu visokofrekventnih uređaja velike snage. VET Energy osigurava odlične performanse i konzistentnost vafla kroz naprednu MOCVD epitaksijalnu tehnologiju.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Linija proizvoda VET Energy nije ograničena na GaN na SiC pločicama. Takođe nudimo širok spektar materijala za poluprovodničke podloge, uključujući Si Wafer, SiC supstrat, SOI Wafer, SiN supstrat, Epi Wafer, itd. Osim toga, takođe aktivno razvijamo nove poluprovodničke materijale sa širokim pojasom, kao što su Galijev oksid Ga2O3 i AlN Wafer, kako bi se zadovoljile potrebe industrije energetske elektronike budućnosti za uređajima viših performansi.

VET Energy pruža fleksibilne usluge prilagođavanja i može prilagoditi GaN epitaksijalne slojeve različitih debljina, različitih vrsta dopinga i različitih veličina pločice prema specifičnim potrebama kupaca. Osim toga, pružamo i profesionalnu tehničku podršku i postprodajne usluge kako bismo pomogli kupcima da brzo razviju moćne elektronske uređaje visokih performansi.

SPECIFIKACIJE VAFIRANJA

*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni

Stavka	8-inčni	6-inčni			4-inčni
Stavka	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6um	≤6um
Bow(GF3YFCD)-Apsolutna vrijednost	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp (GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Wafer Edge	Beveling

ZAVRŠNA POVRŠINA

*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni

Stavka	8-inčni	6-inčni			4-inčni
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Završna obrada	Dvostrani optički lak, Si-Face CMP
SurfaceRoughness	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm
Edge Chips	Ništa nije dozvoljeno (dužina i širina≥0,5 mm)
Uvlake	Ništa nije dozvoljeno
Ogrebotine (Si-Face)	Količina≤5, Kumulativno Dužina≤0,5×prečnik oblatne	Količina≤5, Kumulativno Dužina≤0,5×prečnik oblatne			Količina≤5, Kumulativno Dužina≤0,5×prečnik oblatne
Pukotine	Ništa nije dozvoljeno
Edge Exclusion	3mm