লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি এলপিই এর জন্য ব্যারেল সাসেপ্টর

লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি এলপিই এর জন্য ব্যারেল সাসেপ্টর

ইপিআই (এপিটাক্সি)উন্নত সেমিকন্ডাক্টর তৈরিতে এটি একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া। জটিল ডিভাইস কাঠামো তৈরি করতে এটি একটি স্তরের উপর উপাদানের পাতলা স্তর জমা করে। EPI-এর জন্য SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টর সাধারণত তাদের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ তাপমাত্রার প্রতিরোধের কারণে EPI চুল্লিতে সাসেপ্টর হিসেবে ব্যবহৃত হয়। সঙ্গেCVD-SiC আবরণ, এটি দূষণ, ক্ষয় এবং তাপীয় শকের জন্য আরও প্রতিরোধী হয়ে ওঠে। এর ফলে সাসেপ্টরের জন্য দীর্ঘ জীবনকাল এবং উন্নত ফিল্মের গুণমান।

লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি এলপিই-এর জন্য আমাদের ব্যারেল সাসেপ্টরের সুবিধা:
দূষণ হ্রাস:SiC এর জড় প্রকৃতি অমেধ্যগুলিকে সাসেপ্টর পৃষ্ঠের সাথে লেগে থাকতে বাধা দেয়, জমা হওয়া ফিল্মগুলির দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করে।
বর্ধিত ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা:SiC প্রচলিত গ্রাফাইটের তুলনায় ক্ষয়ের জন্য উল্লেখযোগ্যভাবে বেশি প্রতিরোধী, যা সাসেপ্টরের জন্য দীর্ঘ জীবনকালের দিকে পরিচালিত করে।
উন্নত তাপীয় স্থিতিশীলতা:SiC এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে এবং উল্লেখযোগ্য বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে।
উন্নত ফিল্ম গুণমান:উন্নত তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং কম দূষণের ফলে উন্নত অভিন্নতা এবং বেধ নিয়ন্ত্রণের সাথে উচ্চ মানের জমা ফিল্ম হয়।