এপিটাক্সিয়াল এপি গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টর
এপিটাক্সিয়াল এপি গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টরডিপোজিশন বা এপিটাক্সি প্রসেসের মতো উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেটগুলিকে ধরে রাখতে এবং গরম করতে ব্যবহৃত একটি বিশেষভাবে ডিজাইন করা সমর্থন এবং গরম করার ডিভাইস।
এর গঠনে সাধারণত নলাকার বা সামান্য ব্যারেল আকৃতির, ওয়েফার রাখার জন্য পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্য একাধিক পকেট বা প্ল্যাটফর্ম, গরম করার পদ্ধতির উপর নির্ভর করে কঠিন বা ফাঁপা নকশা হতে পারে।
এপিটাক্সিয়াল ব্যারেল সাসেপ্টরের প্রধান কাজ:
-সাবস্ট্রেট সমর্থন: নিরাপদে একাধিক সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ধারণ করে;
-তাপ উত্স: গরম করার মাধ্যমে বৃদ্ধির জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ তাপমাত্রা প্রদান করে;
-তাপমাত্রার অভিন্নতা: স্তরগুলির অভিন্ন গরম নিশ্চিত করে;
-ঘূর্ণন: তাপমাত্রা এবং গ্যাস বিতরণ অভিন্নতা উন্নত করতে সাধারণত বৃদ্ধির সময় ঘোরে।
এপি গ্রাফাইট ব্যারেল সাসেপ্টরের কাজের নীতি:
- এপিটাক্সিয়াল চুল্লিতে, ব্যারেল সাসেপ্টরকে প্রয়োজনীয় তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করা হয় (সিলিকন এপিটাক্সির জন্য সাধারণত 1000℃-1200℃);
- ব্যারেল সাসেপ্টর অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন এবং গ্যাস প্রবাহ নিশ্চিত করতে ঘোরে;
- প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি উচ্চ তাপমাত্রায় পচে যায়, যা সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে এপিটাক্সিয়াল স্তর তৈরি করে।
অ্যাপ্লিকেশন:
-প্রাথমিকভাবে সিলিকন এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত হয়
- GaAs, InP, ইত্যাদির মতো অন্যান্য সেমিকন্ডাক্টর উপকরণের এপিটাক্সির জন্যও প্রযোজ্য।
রাসায়নিক স্থিতিশীলতা বাড়ানোর জন্য VET শক্তি CVD-SiC আবরণ সহ উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট ব্যবহার করে:
VET Energy Epitaxial Epi Graphite ব্যারেল সাসেপ্টরের সুবিধা:
- উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা;
- ভাল তাপ অভিন্নতা;
-উৎপাদন দক্ষতা উন্নত করে একযোগে একাধিক সাবস্ট্রেট প্রক্রিয়া করতে পারে;
-রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা বৃদ্ধির পরিবেশ বজায় রাখা।
নিংবো ভিইটি এনার্জি টেকনোলজি কোং, লিমিটেড একটি উচ্চ-প্রযুক্তি সংস্থা যা উচ্চ-প্রান্তের উন্নত সামগ্রী, গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, সিরামিকস, সারফেস ট্রিটমেন্ট যেমন SiC আবরণ, TaC আবরণ, গ্লসি কার্বন সহ উপকরণ এবং প্রযুক্তির উত্পাদন এবং বিক্রয়ের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে। লেপ, পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ, ইত্যাদি, এই পণ্যগুলি ফটোভোলটাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা, ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের প্রযুক্তিগত দল শীর্ষস্থানীয় দেশীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে আসে, এবং পণ্যের কার্যকারিতা এবং গুণমান নিশ্চিত করতে একাধিক পেটেন্ট প্রযুক্তি তৈরি করেছে, এছাড়াও গ্রাহকদের পেশাদার উপাদান সমাধান প্রদান করতে পারে।
প্রযুক্তিগত আলোচনা এবং সহযোগিতার জন্য আমাদের পরীক্ষাগার এবং উদ্ভিদ পরিদর্শন করার জন্য আমরা আপনাকে আন্তরিকভাবে স্বাগত জানাই!
