1. পরিষ্কার করার আগে স্বীকৃতি
1) যখনPECVD গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার 100 থেকে 150 বারের বেশি ব্যবহার করা হয়, অপারেটরকে সময়মতো আবরণের অবস্থা পরীক্ষা করতে হবে। যদি একটি অস্বাভাবিক আবরণ থাকে তবে এটি পরিষ্কার এবং নিশ্চিত করা প্রয়োজন। গ্রাফাইট বোট/ক্যারিয়ারে সিলিকন ওয়েফারের সাধারণ আবরণের রঙ নীল। যদি ওয়েফারে অ-নীল, একাধিক রঙ থাকে বা ওয়েফারগুলির মধ্যে রঙের পার্থক্য বড় হয় তবে এটি একটি অস্বাভাবিক আবরণ, এবং অস্বাভাবিকতার কারণটি সময়মতো নিশ্চিত হওয়া দরকার।
2) প্রক্রিয়ার পরে কর্মীরা আবরণ অবস্থা বিশ্লেষণPECVD গ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার, তারা নির্ধারণ করবে যে গ্রাফাইট বোটটি পরিষ্কার করা দরকার এবং কার্ড পয়েন্টটি প্রতিস্থাপন করা দরকার কিনা এবং গ্রাফাইট বোট/ক্যারিয়ার যা পরিষ্কার করা দরকার তা পরিষ্কারের জন্য সরঞ্জাম কর্মীদের কাছে হস্তান্তর করা হবে।
3) পরেগ্রাফাইট নৌকা/ক্যারিয়ার ক্ষতিগ্রস্ত হয়েছে, উৎপাদন কর্মীরা গ্রাফাইট বোটের সমস্ত সিলিকন ওয়েফার বের করবে এবং সিডিএ (সংকুচিত বায়ু) ব্যবহার করবেগ্রাফাইট নৌকা. সমাপ্তির পরে, সরঞ্জাম কর্মীরা এটিকে অ্যাসিড ট্যাঙ্কে তুলে নেবে যা পরিষ্কার করার জন্য HF দ্রবণের একটি নির্দিষ্ট অনুপাতের সাথে প্রস্তুত করা হয়েছে।
2. গ্রাফাইট নৌকা পরিষ্কার করা
তিন রাউন্ড পরিষ্কারের জন্য 15-25% হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড দ্রবণ ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়, প্রতিটি 4-5 ঘন্টার জন্য, এবং পর্যায়ক্রমে নাইট্রোজেন ভিজিয়ে এবং পরিষ্কার করার প্রক্রিয়ার সময় বুদবুদ করে, প্রায় আধা ঘন্টা পরিষ্কারের যোগ করে; দ্রষ্টব্য: বুদবুদ করার জন্য গ্যাসের উত্স হিসাবে সরাসরি বাতাস ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয় না। পিকিংয়ের পরে, প্রায় 10 ঘন্টা বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধুয়ে ফেলুন এবং নিশ্চিত করুন যে নৌকাটি পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে পরিষ্কার করা হয়েছে। পরিষ্কার করার পরে, অনুগ্রহ করে নৌকার পৃষ্ঠ, গ্রাফাইট কার্ড পয়েন্ট এবং বোট শীট জয়েন্ট এবং অন্যান্য অংশগুলি পরীক্ষা করুন যে কোনও সিলিকন নাইট্রাইড অবশিষ্টাংশ আছে কিনা। তারপর প্রয়োজন অনুযায়ী শুকিয়ে নিন।
3. পরিষ্কার করার সতর্কতা
ক) যেহেতু এইচএফ অ্যাসিড একটি অত্যন্ত ক্ষয়কারী পদার্থ এবং এর একটি নির্দিষ্ট উদ্বায়ীতা রয়েছে, তাই এটি অপারেটরদের জন্য বিপজ্জনক। অতএব, পরিচ্ছন্নতার পোস্টে অপারেটরদের অবশ্যই নিরাপত্তা সতর্কতা অবলম্বন করতে হবে এবং একজন নিবেদিতপ্রাণ ব্যক্তির দ্বারা পরিচালিত হতে হবে।
খ) বোটটিকে আলাদা করার পরামর্শ দেওয়া হয় এবং পরিষ্কার করার সময় শুধুমাত্র গ্রাফাইটের অংশটি পরিষ্কার করুন, যাতে প্রতিটি যোগাযোগের অংশ আরও পুঙ্খানুপুঙ্খভাবে পরিষ্কার করা যায়। বর্তমানে, অনেক গার্হস্থ্য নির্মাতারা সামগ্রিক পরিচ্ছন্নতা ব্যবহার করে, যা সুবিধাজনক, কিন্তু যেহেতু এইচএফ অ্যাসিড সিরামিক অংশগুলির জন্য ক্ষয়কারী, সামগ্রিক পরিচ্ছন্নতা সংশ্লিষ্ট অংশগুলির পরিষেবা জীবনকে ছোট করবে।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৩-২০২৪