Графитни сегментни пръстени с покритие от танталов карбид

Кратко описание:

Популярността на 8-инчовите пластини от силициев карбид (SiC) направи температурните изисквания на полупроводниковите процеси по-строги.Традиционните основни материали обаче не могат да издържат на теста на среда с висока температура и са склонни към сублимация и увреждане на епитаксиалния процес.За щастие, продуктите CvD танталов карбид (TaC) на Semicera ви осигуряват надеждно решение.Нашият танталов карбид (TaC) има отлична устойчивост на висока температура, може да издържи на екстремни температури до 2300 градуса по Целзий и осигурява по-дълъг експлоатационен живот.Свържете се със Semicera днес, за да научите повече за нашите усъвършенствани решения, включително персонализирани опции за покривни плочи с покритие от танталов карбид.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

TaC покритието е вид покритие от танталов карбид (TaC), получено чрез технология за физическо отлагане на пари, то има следните характеристики:

1. Висока твърдост: Твърдостта на TaC покритието е висока, обикновено може да достигне 2500-3000HV, е отлично твърдо покритие.

2. Устойчивост на износване: TaC покритието е много устойчиво на износване, което може ефективно да намали износването и повредата на механичните части по време на употреба.

3. Добра устойчивост на висока температура: TaC покритието може също да поддържа отличната си производителност при висока температура.

4. Добра химическа стабилност: TaC покритието има добра химическа стабилност и може да устои на много химични реакции, като киселини и основи.

TaC покритие9
TaC покритие8

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физически свойства на TaC покритие

密度/ Плътност

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Специфична излъчвателна способност

0,3

热膨胀系数 / Коефициент на термично разширение

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твърдост (HK)

2000 HK

电阻 / Съпротива

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термична стабилност

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Промени в размера на графита

-10~-20um

涂层厚度 / Дебелина на покритието

≥20um типична стойност (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е високотехнологично предприятие, фокусирано върху производството и продажбите на модерни материали от висок клас, материалите и технологиите, обхващащи графит, силициев карбид, керамика, повърхностна обработка и т.н.Продуктите се използват широко във фотоволтаиците, полупроводниците, новата енергия, металургията и др.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Предишен:
  • Следващия:

  • Онлайн чат WhatsApp!