Поддръжка на графитни пластини PECVD

Поддръжка на графитни вафли PECVD Показано изображение

Кратко описание:

Проектиран за прецизност и производителност, графитната подложка за пластини на VET Energy е идеалният материал за използване при усъвършенствана обработка на пластини, където високата термична стабилност и постоянната производителност са критични. Независимо дали работите с полупроводникови пластини или други деликатни субстрати, тази висококачествена графитна опора ще подобри надеждността на вашия процес и качеството на продукта, което го прави незаменим компонент за модерното производство.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

VET Energy PECVD графитна опора за пластини е основен консуматив, предназначен за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане на пари) процес. Този продукт е изработен от графитен материал с висока чистота и висока плътност, с отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, стабилност на размерите и други характеристики, може да осигури стабилна опорна платформа за процеса PECVD, за да се гарантира равномерност и плоскост на отлагането на филма.

Дизайнът на "графитна опора" на графитната подложка на VET Energy може не само да поддържа ефективно пластината, но също така да осигури термична стабилност при висока температура и PECVD среда с високо налягане, за да се гарантира стабилността на процеса.

VET Energy PECVD процес графитна подложка има следните характеристики:

▪Висока чистота:изключително ниско съдържание на примеси, избягвайте замърсяване на филма, за да гарантирате качеството на филма.

▪Висока плътност:висока плътност, висока механична якост, може да издържи на висока температура и високо налягане PECVD среда.

▪Добра стабилност на размерите:малки промени в размерите при висока температура, за да се гарантира стабилността на процеса.

▪Отлична топлопроводимост:ефективно пренасят топлината, за да предотвратят прегряването на вафлата.

▪Силна устойчивост на корозия:Способен да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

▪Персонализирано обслужване:Графитни опорни маси с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	единица
Среден размер на зърното	ISO 13320	10	μm
Обемна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Якост на натиск	DIN 51910	130	MPa
Модул на Юнг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термично разширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за високоефективно производство на слънчеви клетки, като поддържа G12 обработка на пластини с голям размер. Оптимизираният дизайн на носача значително увеличава производителността, позволявайки по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Артикул	Тип	Номер вафлен носител
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитна лодка	216
	156-21 грефитна лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитна лодка	196
	125-19 грефитна лодка	252
	125-21 графитна лодка	280