Графитна тава за отлагане на зареждаща тава PECVD

Графитна тава за отлагане на тава за зареждане PECVD Показано изображение

Кратко описание:

Тавата за зареждане PECVD на VET Energy е проектирана да осигури сигурна и равномерна опора за вафли по време на отлагане, като подобрява последователността и качеството на процеса на отлагане. С отличната си топлоустойчивост графитната тава помага за поддържането на контролирана среда вътре в камерите PECVD, намалявайки риска от замърсяване и осигурявайки висока ефективност на процеса.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

VET Energy PECVD тава за зареждане е прецизен носител, предназначен за PECVD (плазмено подобрено химическо отлагане на пари) процес. Тази висококачествена графитна тава за отлагане е изработена от графитен материал с висока чистота и висока плътност. Има отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, стабилност на размерите и други характеристики. Той може да осигури стабилна носеща платформа за процеса PECVD и да гарантира еднородността и плоскостта на отлагането на филма.

VET Energy PECVD тави за зареждане се използват широко в полупроводникови, фотоволтаични, LED и други области. Например:

▪ Полупроводници: PECVD процес за полупроводникови материали като силициеви пластини и епитаксиални пластини.

▪ Фотоволтаични: PECVD процес за тънки слоеве на слънчеви клетки.

▪ LED: PECVD процес за LED чипове.

Предимства на продукта

▪Подобрете качеството на филма:Осигурете равномерно отлагане на филма и подобрете качеството на филма.

▪Удължете живота на оборудването:Отлична устойчивост на корозия, удължаване на експлоатационния живот на оборудването PECVD.

▪Намалете производствените разходи:Висококачествените графитни тави могат да намалят процента на скрап и производствените разходи.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	единица
Среден размер на зърното	ISO 13320	10	μm
Обемна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Якост на натиск	DIN 51910	130	MPa
Модул на Юнг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термично разширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за високоефективно производство на слънчеви клетки, като поддържа G12 обработка на пластини с голям размер. Оптимизираният дизайн на носача значително увеличава производителността, позволявайки по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Артикул	Тип	Номер вафлен носител
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитна лодка	216
	156-21 грефитна лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитна лодка	196
	125-19 грефитна лодка	252
	125-21 графитна лодка	280