Графитна вафлена лодка за отлагане

Кратко описание:

VET Energy graphite wafer boat е висококачествен консуматив, пригоден за процеси на отлагане в полупроводниковата, фотоволтаичната и други индустрии. Изработен от графитен материал с висока чистота и висока плътност, този продукт има отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, стабилност на размерите и други характеристики и може да осигури стабилна носеща платформа за процеса на отлагане, за да гарантира еднородността и плоскостта на отлагането на тънък слой .

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Графитната лодка PECVD от VET Energy е произведена с изостатичен графит с висока чистота, с порьозност под 15% и грапавост на повърхността Ra≤1,6μm. Превъзходната стабилност на размерите и топлопроводимост осигуряват равномерно отлагане на филма и повишена ефективност на клетката.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	единица
Среден размер на зърното	ISO 13320	10	μm
Обемна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Якост на натиск	DIN 51910	130	MPa
Модул на Юнг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термично разширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за високоефективно производство на слънчеви клетки, като поддържа G12 обработка на пластини с голям размер. Оптимизираният дизайн на носача значително увеличава производителността, позволявайки по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Артикул	Тип	Номер вафлен носител
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитна лодка	216
	156-21 грефитна лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитна лодка	196
	125-19 грефитна лодка	252
	125-21 графитна лодка	280