Дълъг експлоатационен живот Касета за пластини от силициев карбид със SiC покритие

Дълъг експлоатационен живот Касета от силициев карбид за пластини със SiC покритие Показано изображение

Кратко описание:

VET Energy Silicon Carbide Wafer Cassette with SiC Coating е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Свойства на рекристализиран силициев карбид

Прекристализираният силициев карбид (R-SiC) е високоефективен материал с твърдост, втора след диаманта, който се образува при висока температура над 2000 ℃. Той запазва много отлични свойства на SiC, като устойчивост при висока температура, силна устойчивост на корозия, отлична устойчивост на окисление, добра устойчивост на термичен удар и т.н.

● Отлични механични свойства. Прекристализираният силициев карбид има по-висока якост и твърдост от въглеродните влакна, висока устойчивост на удар, може да играе добра производителност при екстремни температурни среди, може да играе по-добра противотежестна производителност в различни ситуации. В допълнение, той също има добра гъвкавост и не се поврежда лесно от разтягане и огъване, което значително подобрява работата му.

● Висока устойчивост на корозия. Прекристализираният силициев карбид има висока устойчивост на корозия към различни среди, може да предотврати ерозията на различни корозивни среди, може да поддържа механичните си свойства за дълго време, има силна адхезия, така че да има по-дълъг експлоатационен живот. В допълнение, той също има добра термична стабилност, може да се адаптира към определен диапазон от температурни промени, да подобри ефекта от приложението си.

● При синтероването не се свива. Тъй като процесът на синтероване не се свива, няма остатъчно напрежение, което да причини деформация или напукване на продукта и могат да бъдат подготвени части със сложни форми и висока точност.

重结晶碳化硅物理特性 Физични свойства на рекристализирания силициев карбид
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
使用温度/ Работна температура (°C)	1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)
SiC含量/ съдържание на SiC	> 99,96%
自由Si含量/ Безплатно Si съдържание	< 0,1%
体积密度/Обемна плътност	2,60-2,70 g/cm³
气孔率/ Привидна порьозност	< 16%
抗压强度/ Сила на натиск	> 600MPa
常温抗弯强度/Якост на студено огъване	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Якост на горещо огъване	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Термично разширение @1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Топлопроводимост @1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Модул на еластичност	240 GPa
抗热震性/ Устойчивост на термичен удар	Изключително добре

ПОО Енергия е наистински производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводникова и фотоволтаична индустрия. OВашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решенияза вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-модерни материали,иса разработили изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1