Графитен пръстен с покритие от силициев карбид CVD

Графитен пръстен с CVD покритие от силициев карбид Показано изображение

Кратко описание:

Графитен пръстен с покритие от силициев карбид VET Energy е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Типични свойства на основния графитен материал:

Видима плътност:	1,85 g/cm3
Електрическо съпротивление:	11 μΩm
Якост на огъване:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Твърдост по Шор:	58
Пепел:	<5 ppm
Топлопроводимост:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Ние доставяме различни токоприемници и графитни компоненти за всички настоящи реактори за епитаксия. Нашите продукти включват барелни токосцептори за LPE единици, палачинкови токосцептори за LPE, CSD и Gemini единици и еднопластови фиксатори за приложени и ASM единици.

Чрез комбиниране на силни партньорства с водещи производители на оригинално оборудване, опит в материалите и ноу-хау в производството, vet предлага оптималния дизайн за вашето приложение.

ПОО Енергия е наистински производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводникова и фотоволтаична индустрия. OВашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решенияза вас.

Fхарактеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итоплинна еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1