Графитен носител за PECVD процес

Графитен носител за процес PECVD Показано изображение

Кратко описание:

ПОО ЕнергияPECVD Graphite Boat for Solar Panel е усъвършенстван компонент, проектиран специално за производството на високопроизводителни слънчеви панели. Използвана в процесите на плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD), тази графитна лодка осигурява оптимално боравене с материали и равномерно отлагане на тънки филми върху слънчеви клетки. Проектиран за прецизност и издръжливост, той осигурява превъзходна топлопроводимост, висока устойчивост на корозия и минимално замърсяване, които са от съществено значение за производството на ефективни, висококачествени слънчеви панели.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

ПОО ЕнергияPECVD графитният носител е висококачествен консуматив, пригоден за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане на пари) процес. Този графитен носител е изработен от графитен материал с висока чистота и висока плътност, с отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, стабилност на размерите и други характеристики, може да осигури стабилна носеща платформа за PECVD процес, за да се гарантира еднаквостта и плоскостта на тънкия филм отлагане.

Графитните носители за процеса PECVD имат следните характеристики:

▪ Висока чистота: изключително ниско съдържание на примеси, избягване на замърсяване на филма и осигуряване на качество на филма.

▪ Висока плътност: висока плътност, висока механична якост, способна да издържа на висока температура и PECVD среда с високо налягане.

▪ Добра стабилност на размерите: малка промяна на размерите при висока температура, осигуряваща стабилност на процеса.

▪ Отлична топлопроводимост: ефективно пренасяйте топлината, за да предотвратите прегряване на вафлата.

▪ Силна устойчивост на корозия: способна да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

▪ Персонализирано обслужване: графитни носители с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	единица
Среден размер на зърното	ISO 13320	10	μm
Обемна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Якост на натиск	DIN 51910	130	MPa
Модул на Юнг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термично разширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за високоефективно производство на слънчеви клетки, като поддържа G12 обработка на пластини с голям размер. Оптимизираният дизайн на носача значително увеличава производителността, позволявайки по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Артикул	Тип	Номер вафлен носител
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитна лодка	216
	156-21 грефитна лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитна лодка	196
	125-19 грефитна лодка	252
	125-21 графитна лодка	280