LPE maye faza epitaksisi üçün lülə qəbuledicisi
EPI (Epitaxy)qabaqcıl yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm prosesdir. Mürəkkəb cihaz strukturlarını yaratmaq üçün bir substratda nazik material təbəqələrinin çökdürülməsini nəzərdə tutur. EPI üçün SiC ilə örtülmüş qrafit çəllək sensoru əla istilik keçiriciliyi və yüksək temperaturlara qarşı müqavimətinə görə EPI reaktorlarında həssaslıq kimi istifadə olunur. iləCVD-SiC örtüyü, çirklənməyə, eroziyaya və termal şoka qarşı daha davamlı olur. Bu, qəbuledicinin ömrünün daha uzun olmasına və film keyfiyyətinin yaxşılaşmasına səbəb olur.
LPE maye faza epitaksisi üçün lülə qəbuledicimizin üstünlükləri:
Azaldılmış çirklənmə:SiC-nin inert təbiəti çirklərin həssas səthə yapışmasının qarşısını alır, yığılmış filmlərin çirklənmə riskini azaldır.
Artan eroziya müqaviməti:SiC adi qrafitlə müqayisədə eroziyaya əhəmiyyətli dərəcədə daha davamlıdır, bu da susseptorun ömrünün uzun olmasına səbəb olur.
Təkmilləşdirilmiş Termal Sabitlik:SiC əla istilik keçiriciliyinə malikdir və əhəmiyyətli təhrif olmadan yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Təkmilləşdirilmiş Film Keyfiyyəti:Təkmilləşdirilmiş istilik dayanıqlığı və azaldılmış çirklənmə, təkmilləşdirilmiş vahidlik və qalınlığa nəzarət ilə daha yüksək keyfiyyətli çökmə filmləri ilə nəticələnir.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların, materialların və texnologiyanın, o cümlədən qrafit, silisium karbid, keramika, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşə karbon kimi səthlərin təmizlənməsinə yönəlmiş yüksək texnologiyalı bir müəssisədir. örtük, pirolitik karbon örtüyü və s., bu məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir və məhsulun performansını və keyfiyyətini təmin etmək üçün çoxsaylı patentləşdirilmiş texnologiyalar işləyib hazırlayıb, həmçinin müştərilərə peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
Texniki müzakirə və əməkdaşlıq üçün laboratoriyamıza və zavodumuza baş çəkməyinizi ürəkdən salamlayırıq!