صينية التحميل VET Energy PECVD عبارة عن حامل دقيق مصمم لعملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما). صينية الجرافيت عالية الجودة هذه مصنوعة من مادة الجرافيت عالية النقاء وعالية الكثافة. إنها تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل، واستقرار الأبعاد وخصائص أخرى. يمكن أن توفر منصة حاملة مستقرة لعملية PECVD وتضمن توحيد وتسطيح ترسيب الفيلم.
تُستخدم صواني التحميل PECVD من VET Energy على نطاق واسع في أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية وLED وغيرها من المجالات. على سبيل المثال:
أشباه الموصلات: عملية PECVD للمواد شبه الموصلة مثل رقائق السيليكون والرقائق الفوقي.
الخلايا الكهروضوئية: عملية PECVD للأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية.
▪ LED: عملية PECVD لرقائق LED.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسيب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودة الفيلم.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، وإطالة عمر خدمة معدات PECVD.
▪تقليل تكاليف الإنتاج:يمكن لصواني الجرافيت عالية الجودة تقليل معدل الخردة وتقليل تكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | دين إيك 60413/204 | 1.83 | جم / سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | الدين 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | دين IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية المحددة | دين إيك 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | دين إيك 60413/501 | 60 | MPa |
| قوة ضاغطة | الدين 51910 | 130 | MPa |
| معامل يونغ | الدين 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | الدين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | الدين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
وهو مصمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية ذات الكفاءة العالية، ويدعم معالجة الرقاقات كبيرة الحجم G12. يعمل تصميم الناقل المُحسّن على زيادة الإنتاجية بشكل كبير، مما يتيح معدلات إنتاجية أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حاملة الرقاقة العددية |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 156 | 156-13 قارب من الجرافيت | 144 |
| 156-19 قارب من الجرافيت | 216 | |
| 156-21 قارب من الجرافيت | 240 | |
| 156-23 قارب الجرافيت | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 125 | 125-15 قارب من الجرافيت | 196 |
| 125-19 قارب من الجرافيت | 252 | |
| 125-21 قارب الجرافيت | 280 |
