إن حامل رقاقة الركيزة الجرافيت من VET Energy عبارة عن حامل دقيق مصمم لعملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما). حامل الركيزة الجرافيت عالي الجودة هذا مصنوع من مادة الجرافيت عالية النقاء وعالية الكثافة، مع مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل، وثبات الأبعاد وخصائص أخرى. يمكن أن يوفر منصة دعم مستقرة لعملية PECVD ويضمن توحيد وتسطيح ترسب الفيلم.
يتميز جدول دعم رقاقة الجرافيت لعملية PECVD من VET Energy بالخصائص التالية:
▪درجة نقاء عالية:محتوى شوائب منخفض للغاية، وتجنب تلوث الفيلم، وضمان جودة الفيلم.
▪كثافة عالية:كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، يمكن أن تتحمل درجات الحرارة العالية والضغط العالي لبيئة PECVD.
▪استقرار الأبعاد الجيد:تغيير بسيط في الأبعاد عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪الموصلية الحرارية الممتازة:نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪مقاومة قوية للتآكل:يمكن أن تقاوم التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.
▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات دعم الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسيب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودة الفيلم.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، وإطالة عمر خدمة معدات PECVD.
▪تقليل تكاليف الإنتاج:يمكن لصواني الجرافيت عالية الجودة تقليل معدل الخردة وتقليل تكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | دين إيك 60413/204 | 1.83 | جم / سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | الدين 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | دين IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية المحددة | دين إيك 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | دين إيك 60413/501 | 60 | MPa |
| قوة ضاغطة | الدين 51910 | 130 | MPa |
| معامل يونغ | الدين 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | الدين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | الدين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
وهو مصمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية ذات الكفاءة العالية، ويدعم معالجة الرقاقات كبيرة الحجم G12. يعمل تصميم الناقل المُحسّن على زيادة الإنتاجية بشكل كبير، مما يتيح معدلات إنتاجية أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حاملة الرقاقة العددية |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 156 | 156-13 قارب من الجرافيت | 144 |
| 156-19 قارب من الجرافيت | 216 | |
| 156-21 قارب من الجرافيت | 240 | |
| 156-23 قارب الجرافيت | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 125 | 125-15 قارب من الجرافيت | 196 |
| 125-19 قارب من الجرافيت | 252 | |
| 125-21 قارب الجرافيت | 280 |
