يعد دعم رقاقة الجرافيت لعملية PECVD من VET Energy أحد المواد الاستهلاكية الأساسية المصممة لعملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما). هذا المنتج مصنوع من مادة الجرافيت عالية النقاء وعالية الكثافة، مع مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، واستقرار الأبعاد وخصائص أخرى، ويمكن أن يوفر منصة دعم مستقرة لعملية PECVD، لضمان توحيد واستواء ترسب الفيلم.
لا يمكن لتصميم "دعم الجرافيت" لدعم رقاقة الجرافيت من VET Energy أن يدعم الرقاقة بشكل فعال فحسب، بل يوفر أيضًا الاستقرار الحراري في بيئة PECVD ذات درجة الحرارة العالية والضغط العالي لضمان استقرار العملية.
يتميز دعم رقاقة الجرافيت لعملية PECVD من VET Energy بالخصائص التالية:
▪درجة نقاء عالية:محتوى شوائب منخفض للغاية، وتجنب تلوث الفيلم، لضمان جودة الفيلم.
▪كثافة عالية:كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، يمكن أن تتحمل درجات الحرارة العالية والضغط العالي لبيئة PECVD.
▪استقرار الأبعاد الجيد:تغييرات صغيرة الأبعاد عند درجة حرارة عالية لضمان استقرار العملية.
▪الموصلية الحرارية الممتازة:نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪مقاومة قوية للتآكل:قادرة على مقاومة التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.
▪خدمة مخصصة:يمكن تخصيص طاولات دعم الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | دين إيك 60413/204 | 1.83 | جم / سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | الدين 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | دين IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية المحددة | دين إيك 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | دين إيك 60413/501 | 60 | MPa |
| قوة ضاغطة | الدين 51910 | 130 | MPa |
| معامل يونغ | الدين 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | الدين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | الدين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
وهو مصمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية ذات الكفاءة العالية، ويدعم معالجة الرقاقات كبيرة الحجم G12. يعمل تصميم الناقل المُحسّن على زيادة الإنتاجية بشكل كبير، مما يتيح معدلات إنتاجية أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حاملة الرقاقة العددية |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 156 | 156-13 قارب من الجرافيت | 144 |
| 156-19 قارب من الجرافيت | 216 | |
| 156-21 قارب من الجرافيت | 240 | |
| 156-23 قارب الجرافيت | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 125 | 125-15 قارب من الجرافيت | 196 |
| 125-19 قارب من الجرافيت | 252 | |
| 125-21 قارب الجرافيت | 280 |
