يعتبر قارب ويفر الجرافيت من VET Energy عبارة عن مادة استهلاكية عالية الجودة مصممة لعمليات الترسيب في أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية وغيرها من الصناعات. مصنوع من مادة الجرافيت عالية النقاء والكثافة، هذا المنتج يتمتع بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، وثبات الأبعاد وخصائص أخرى، ويمكن أن يوفر منصة حاملة مستقرة لعملية الترسيب لضمان توحيد واستواء ترسيب الأغشية الرقيقة. .
يتم تصنيع قارب الجرافيت PECVD من VET Energy باستخدام الجرافيت المتوازن عالي النقاء، ويتميز بمسامية أقل من 15% وخشونة السطح Ra≥1.6μm. يضمن ثبات الأبعاد الفائق والتوصيل الحراري ترسبًا موحدًا للفيلم وتعزيز كفاءة الخلية.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | دين إيك 60413/204 | 1.83 | جم / سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | الدين 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | دين IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية المحددة | دين إيك 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | دين إيك 60413/501 | 60 | MPa |
| قوة ضاغطة | الدين 51910 | 130 | MPa |
| معامل يونغ | الدين 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | الدين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | الدين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
وهو مصمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية ذات الكفاءة العالية، ويدعم معالجة الرقاقات كبيرة الحجم G12. يعمل تصميم الناقل المُحسّن على زيادة الإنتاجية بشكل كبير، مما يتيح معدلات إنتاجية أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حاملة الرقاقة العددية |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 156 | 156-13 قارب من الجرافيت | 144 |
| 156-19 قارب من الجرافيت | 216 | |
| 156-21 قارب من الجرافيت | 240 | |
| 156-23 قارب الجرافيت | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 125 | 125-15 قارب من الجرافيت | 196 |
| 125-19 قارب من الجرافيت | 252 | |
| 125-21 قارب الجرافيت | 280 |
