تم شرح الهيكل الداخلي لمعدات أنبوب الفرن بالتفصيل

كما هو مبين أعلاه، هو نموذجي

النصف الأول:

▪ عنصر التسخين (ملف التسخين) :

تقع حول أنبوب الفرن، وعادة ما تكون مصنوعة من أسلاك المقاومة، وتستخدم لتسخين الجزء الداخلي من أنبوب الفرن.

▪ أنبوب الكوارتز:

قلب فرن الأكسدة الساخن، مصنوع من الكوارتز عالي النقاء الذي يمكنه تحمل درجات الحرارة العالية ويظل خاملًا كيميائيًا.

▪ تغذية الغاز:

يقع في الجزء العلوي أو الجانبي من أنبوب الفرن، ويتم استخدامه لنقل الأكسجين أو الغازات الأخرى إلى داخل أنبوب الفرن.

▪ شفة SS:

المكونات التي تربط أنابيب الكوارتز وخطوط الغاز، مما يضمن ضيق واستقرار الاتصال.

▪ خطوط تغذية الغاز:

الأنابيب التي تربط MFC بمنفذ إمداد الغاز لنقل الغاز.

▪ MFC (جهاز التحكم في التدفق الشامل):

جهاز يتحكم في تدفق الغاز داخل أنبوب الكوارتز لتنظيم كمية الغاز المطلوبة بدقة.

▪ تنفيس:

يستخدم لتنفيس غاز العادم من داخل أنبوب الفرن إلى خارج الجهاز.

الجزء السفلي:

▪ رقائق السيليكون في الحامل:

يتم وضع رقائق السيليكون في حامل خاص لضمان الحصول على حرارة موحدة أثناء الأكسدة.

▪ حامل الويفر:

تستخدم لعقد رقاقة السيليكون والتأكد من بقاء رقاقة السيليكون مستقرة أثناء العملية.

▪ قاعدة التمثال:

هيكل يحمل حامل رقاقة السيليكون، وعادة ما يكون مصنوعًا من مادة مقاومة للحرارة العالية.

▪ المصعد:

يستخدم لرفع حاملات الويفر داخل وخارج أنابيب الكوارتز للتحميل والتفريغ التلقائي لرقائق السيليكون.

▪ روبوت نقل الويفر:

يقع على جانب جهاز أنبوب الفرن، ويتم استخدامه لإزالة رقاقة السيليكون تلقائيًا من الصندوق ووضعها في أنبوب الفرن، أو إزالتها بعد المعالجة.

▪ كاروسيل تخزين الكاسيت:

يتم استخدام دائري تخزين الكاسيت لتخزين صندوق يحتوي على رقائق السيليكون ويمكن تدويره للوصول إلى الروبوت.

▪ ويفر كاسيت:

يتم استخدام كاسيت الويفر لتخزين ونقل رقائق السيليكون المراد معالجتها.