تم شرح الهيكل الداخلي لمعدات أنبوب الفرن بالتفصيل

كما هو مبين أعلاه، هو نموذجي

النصف الأول:
عنصر التسخين (ملف التسخين): يقع حول أنبوب الفرن، وعادة ما يكون مصنوعًا من أسلاك مقاومة، يستخدم لتسخين الجزء الداخلي من أنبوب الفرن.
أنبوب الكوارتز: قلب فرن الأكسدة الساخن، مصنوع من الكوارتز عالي النقاء الذي يمكنه تحمل درجات الحرارة العالية ويظل خاملاً كيميائياً.
تغذية الغاز: تقع في الجزء العلوي أو الجانبي من أنبوب الفرن، وتستخدم لنقل الأكسجين أو الغازات الأخرى إلى داخل أنبوب الفرن.
فلنجة SS: المكونات التي تربط أنابيب الكوارتز وخطوط الغاز، مما يضمن إحكام وثبات الاتصال.
خطوط تغذية الغاز: الأنابيب التي تربط MFC بمنفذ إمداد الغاز لنقل الغاز.
MFC (جهاز التحكم في التدفق الشامل): جهاز يتحكم في تدفق الغاز داخل أنبوب الكوارتز لتنظيم كمية الغاز المطلوبة بدقة.
التنفيس: يستخدم لتنفيس غاز العادم من داخل أنبوب الفرن إلى خارج الجهاز.

الجزء السفلي
رقائق السيليكون في الحامل: يتم وضع رقائق السيليكون في حامل خاص لضمان حرارة موحدة أثناء الأكسدة.
حامل الويفر: يستخدم لحمل رقاقة السيليكون والتأكد من بقاء رقاقة السيليكون مستقرة أثناء العملية.
القاعدة: هيكل يحمل حامل رقاقة السيليكون، وعادة ما يكون مصنوعًا من مادة مقاومة للحرارة العالية.
المصعد: يستخدم لرفع حاملات الويفر داخل وخارج أنابيب الكوارتز للتحميل والتفريغ التلقائي لرقائق السيليكون.
روبوت نقل الويفر: يوجد على جانب جهاز أنبوب الفرن، ويستخدم لإزالة رقاقة السيليكون تلقائيًا من الصندوق ووضعها في أنبوب الفرن، أو إزالتها بعد المعالجة.
دائري تخزين الكاسيت: يتم استخدام دائري تخزين الكاسيت لتخزين صندوق يحتوي على رقائق السيليكون ويمكن تدويره للوصول إلى الروبوت.
كاسيت الويفر: يتم استخدام كاسيت الويفر لتخزين ونقل رقائق السيليكون المراد معالجتها.