مقدمة لتقنية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) للأغشية الرقيقة

يعد ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تقنية مهمة لترسيب الأغشية الرقيقة، وغالبًا ما يستخدم لتحضير العديد من الأغشية الوظيفية والمواد ذات الطبقة الرقيقة، ويستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات وغيرها من المجالات.

1. مبدأ عمل الأمراض القلبية الوعائية

في عملية الأمراض القلبية الوعائية، يتم ملامسة المادة الأولية الغازية (واحد أو أكثر من المركبات الأولية الغازية) مع سطح الركيزة ويتم تسخينها إلى درجة حرارة معينة لإحداث تفاعل كيميائي وترسب على سطح الركيزة لتشكيل الفيلم أو الطلاء المطلوب. طبقة. ويكون ناتج هذا التفاعل الكيميائي عبارة عن مادة صلبة، وعادة ما تكون عبارة عن مركب من المادة المرغوبة. إذا أردنا لصق السيليكون على السطح، فيمكننا استخدام ثلاثي كلوروسيلان (SiHCl3) كغاز أولي: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl سوف يرتبط السيليكون بأي سطح مكشوف (داخلي وخارجي)، في حين أن غازات الكلور وحمض الهيدروكلوريك سوف ترتبط ليتم إخراجها من الغرفة.

2. تصنيف الأمراض القلبية الوعائية

الأمراض القلبية الوعائية الحرارية: عن طريق تسخين غاز السلائف ليتحلل وترسبه على سطح الركيزة. البلازما المحسنة CVD (PECVD): تتم إضافة البلازما إلى CVD الحراري لتعزيز معدل التفاعل والتحكم في عملية الترسيب. الأمراض القلبية الوعائية المعدنية العضوية (MOCVD): باستخدام المركبات العضوية المعدنية كغازات أولية، يمكن تحضير أغشية رقيقة من المعادن وأشباه الموصلات، وغالبًا ما تستخدم في صناعة الأجهزة مثل مصابيح LED.

3. التطبيق

(1) تصنيع أشباه الموصلات

فيلم السيليكيد: يستخدم لتحضير الطبقات العازلة، والركائز، وطبقات العزل، وما إلى ذلك. فيلم النتريد: يستخدم لتحضير نيتريد السيليكون، ونيتريد الألومنيوم، وما إلى ذلك، ويستخدم في مصابيح LED، وأجهزة الطاقة، وما إلى ذلك. الفيلم المعدني: يستخدم لتحضير الطبقات الموصلة، الممعدنة طبقات، الخ.

(2) تكنولوجيا العرض

فيلم ITO: فيلم أكسيد موصل شفاف، يستخدم عادة في شاشات العرض المسطحة وشاشات اللمس. الفيلم النحاسي: يستخدم لتحضير طبقات التغليف والخطوط الموصلة وغيرها لتحسين أداء أجهزة العرض.

(3) مجالات أخرى

الطلاءات البصرية: بما في ذلك الطلاءات المضادة للانعكاس، والمرشحات الضوئية، وما إلى ذلك. الطلاء المضاد للتآكل: يستخدم في قطع غيار السيارات، وأجهزة الطيران، إلخ.

4. خصائص عملية الأمراض القلبية الوعائية

استخدم بيئة ذات درجة حرارة عالية لتعزيز سرعة التفاعل. يتم إجراؤه عادة في بيئة فراغية. يجب إزالة الملوثات الموجودة على سطح الجزء قبل الطلاء. قد يكون للعملية قيود على الركائز التي يمكن طلاؤها، أي قيود على درجة الحرارة أو قيود على التفاعل. سيغطي طلاء CVD جميع مناطق الجزء، بما في ذلك الخيوط والثقوب العمياء والأسطح الداخلية. قد يحد من القدرة على إخفاء مناطق مستهدفة محددة. سمك الفيلم محدود بظروف العملية والمواد. التصاق متفوقة.