مزايا دعم قارب كربيد السيليكون مقارنة بدعم قارب الكوارتز

الوظائف الرئيسية لقارب كربيد السيليكونالدعم ودعم قارب الكوارتز هما نفس الشيء.قارب كربيد السيليكونالدعم لديه أداء ممتاز ولكن السعر مرتفع. إنها تشكل علاقة بديلة مع دعم قارب الكوارتز في معدات معالجة البطاريات ذات ظروف العمل القاسية (مثل معدات LPCVD ومعدات نشر البورون). في معدات معالجة البطاريات ذات ظروف العمل العادية، وبسبب علاقات الأسعار، تصبح كربيد السيليكون ودعم قوارب الكوارتز فئات متعايشة ومتنافسة.

① العلاقة الاستبدالية في LPCVD ومعدات نشر البورون

يتم استخدام معدات LPCVD لأكسدة أنفاق خلايا البطارية وعملية تحضير طبقة البولي سيليكون المخدرة. مبدأ العمل:

في ظل جو منخفض الضغط، إلى جانب درجة الحرارة المناسبة، يتم تحقيق التفاعل الكيميائي وتكوين فيلم الترسيب لتحضير طبقة أكسيد النفق الرقيقة للغاية وفيلم البولي سيليكون. في عملية أكسدة الأنفاق وإعداد طبقة البولي سيليكون المخدرة، يكون لدعم القارب درجة حرارة عمل عالية وسيتم ترسيب فيلم السيليكون على السطح. يختلف معامل التمدد الحراري للكوارتز تمامًا عن معامل التمدد الحراري للسيليكون. عند استخدامه في العملية المذكورة أعلاه، من الضروري تخليل وإزالة السيليكون المترسب على السطح بانتظام لمنع دعامة قارب الكوارتز من الكسر بسبب التمدد الحراري والانكماش بسبب اختلاف معامل التمدد الحراري عن السيليكون. نظرًا للتخليل المتكرر وقوة درجات الحرارة المنخفضة المنخفضة، يتمتع حامل قارب الكوارتز بعمر افتراضي قصير ويتم استبداله بشكل متكرر في عملية أكسدة النفق وإعداد طبقة البولي سيليكون المخدرة، مما يزيد بشكل كبير من تكلفة إنتاج خلية البطارية. معامل التمددكربيد السيليكونوهو قريب من السيليكون. المتكاملةقارب كربيد السيليكونلا يتطلب الحامل التخليل في عملية أكسدة النفق وتحضير طبقة البولي سيليكون المخدرة. لديها قوة عالية في درجات الحرارة العالية وعمر خدمة طويل. إنه بديل جيد لحامل قارب الكوارتز.

تُستخدم معدات توسيع البورون بشكل أساسي في عملية تطعيم عناصر البورون على ركيزة رقاقة السيليكون من النوع N لخلية البطارية لإعداد باعث من النوع P لتشكيل وصلة PN. مبدأ العمل هو تحقيق التفاعل الكيميائي وتكوين فيلم الترسيب الجزيئي في جو عالي الحرارة. بعد تشكيل الفيلم، يمكن نشره عن طريق التسخين بدرجة حرارة عالية لتحقيق وظيفة المنشطات لسطح رقاقة السيليكون. نظرًا لدرجة حرارة العمل العالية لمعدات تمدد البورون، فإن حامل قارب الكوارتز لديه قوة منخفضة لدرجة الحرارة العالية وعمر خدمة قصير في معدات تمدد البورون. المتكاملةقارب كربيد السيليكونيتمتع الحامل بقوة عالية في تحمل درجات الحرارة العالية وهو بديل جيد لحامل قارب الكوارتز في عملية توسيع البورون.

② علاقة الاستبدال في معدات العمليات الأخرى

تتمتع دعامات القوارب SiC بقدرة إنتاجية ضيقة وأداء ممتاز. أسعارها أعلى عمومًا من أسعار دعامات قوارب الكوارتز. في ظروف العمل العامة لمعدات معالجة الخلايا، يكون الفرق في عمر الخدمة بين دعامات قارب SiC ودعامات قارب الكوارتز صغيرًا. يقارن العملاء النهائيون بشكل أساسي ويختارون بين السعر والأداء بناءً على عملياتهم واحتياجاتهم الخاصة. أصبحت دعامات قوارب SiC ودعامات قوارب الكوارتز متواجدة وتنافسية. ومع ذلك، فإن هامش الربح الإجمالي لدعم قوارب SiC مرتفع نسبيًا في الوقت الحاضر. مع انخفاض تكلفة إنتاج دعامات قوارب SiC، إذا انخفض سعر بيع قوارب SiC بشكل نشط، فسيشكل أيضًا قدرة تنافسية أكبر على دعامات قوارب الكوارتز.

نسبة الاستخدام

مسار تكنولوجيا الخلايا هو بشكل أساسي تقنية PERC وتقنية TOPCon. تبلغ الحصة السوقية لتقنية PERC 88%، وتبلغ الحصة السوقية لتقنية TOPCon 8.3%. تبلغ الحصة السوقية المجمعة للاثنين 96.30٪.

كما هو مبين في الشكل أدناه:

في تقنية PERC، تكون دعامات القارب مطلوبة لعمليات نشر الفوسفور الأمامي والتليين. في تقنية TOPCon، تكون دعامات القارب مطلوبة لعمليات نشر البورون الأمامي، وLPCVD، ونشر الفوسفور الخلفي، وعمليات التلدين. في الوقت الحاضر، تُستخدم دعامات قوارب كربيد السيليكون بشكل أساسي في عملية LPCVD لتقنية TOPCon، وقد تم التحقق من تطبيقها في عملية نشر البورون بشكل أساسي.

الشكل تطبيق دعامات القارب في عملية معالجة الخلايا

ملحوظة: بعد الطلاء الأمامي والخلفي لتقنيات PERC وTOPCon، لا تزال هناك روابط مثل طباعة الشاشة والتلبيد والاختبار والفرز، والتي لا تتضمن استخدام دعامات القوارب وغير مدرجة في الشكل أعلاه.