كربيد السيليكون (SiC) هو مركب جديد من مادة أشباه الموصلات. يحتوي كربيد السيليكون على فجوة نطاق كبيرة (حوالي 3 أضعاف السيليكون)، وقوة مجال حرج عالية (حوالي 10 أضعاف السيليكون)، وموصلية حرارية عالية (حوالي 3 أضعاف السيليكون). إنها مادة هامة لأشباه الموصلات من الجيل التالي. تستخدم طلاءات SiC على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والطاقة الشمسية الكهروضوئية. على وجه الخصوص، تتطلب المستقبلات المستخدمة في النمو الفوقي لمصابيح LED والطبقة البلورية المفردة Si استخدام طلاء SiC. نظرًا للاتجاه التصاعدي القوي لمصابيح LED في صناعة الإضاءة والعرض، والتطور القوي لصناعة أشباه الموصلات،منتج طلاء SiCآفاق جيدة جدا.
مجال التطبيق
النقاء، هيكل SEM، تحليل سمكطلاء سيك
تصل درجة نقاء طلاءات SiC على الجرافيت باستخدام CVD إلى 99.9995%. هيكلها هو لجنة الاتصالات الفدرالية. إن أفلام SiC المطلية على الجرافيت موجهة (111) كما هو موضح في بيانات XRD (الشكل 1) مما يشير إلى جودتها البلورية العالية. سمك فيلم SiC موحد جدًا كما هو موضح في الشكل 2.
الشكل 2: سمك موحد لأفلام SiC SEM وXRD لفيلم Beta-SiC على الجرافيت
بيانات SEM للفيلم الرقيق CVD SiC، حجم البلورة هو 2 ~ 1 Opm
الهيكل البلوري لفيلم CVD SiC عبارة عن هيكل مكعب متمحور حول الوجه، واتجاه نمو الفيلم قريب من 100%
كربيد السيليكون (SiC) المغلفةالقاعدة هي أفضل قاعدة للسيليكون البلوري المفرد ونضوج GaN، وهو المكون الأساسي لفرن النضوج. تعتبر القاعدة أحد ملحقات الإنتاج الرئيسية للسيليكون أحادي البلورية للدوائر المتكاملة الكبيرة. لديها درجة نقاء عالية، ومقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، وضيق الهواء الجيد وغيرها من خصائص المواد الممتازة.
تطبيق المنتج واستخدامه
طلاء قاعدة الجرافيت للنمو الفوقي للسيليكون البلوري الأحادي مناسب لآلات Aixtron، إلخ. سمك الطلاء: 90~150um قطر حفرة الويفر 55 مم.
وقت النشر: 14 مارس 2022