الطاقة البيطريةيعتبر حامل الجرافيت لعملية PECVD عبارة عن مادة مستهلكة عالية الجودة مصممة خصيصًا لعملية PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما). يتكون حامل الجرافيت هذا من مادة جرافيت عالية النقاء وعالية الكثافة، مع مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل، واستقرار الأبعاد وخصائص أخرى، ويمكن أن يوفر منصة حاملة مستقرة لعملية PECVD، لضمان توحيد وتسطيح الطبقة الرقيقة. ترسيب.
تتميز حاملات الجرافيت لعملية PECVD بالخصائص التالية:
▪ درجة نقاء عالية: محتوى شوائب منخفض للغاية، لتجنب تلوث الفيلم وضمان جودة الفيلم.
▪ كثافة عالية: كثافة عالية، قوة ميكانيكية عالية، قادرة على تحمل درجات الحرارة العالية والضغط العالي لبيئة PECVD.
▪ ثبات جيد للأبعاد: تغير بسيط للأبعاد عند درجة حرارة عالية، مما يضمن استقرار العملية.
▪ التوصيل الحراري الممتاز: نقل الحرارة بشكل فعال لمنع ارتفاع درجة حرارة الرقاقة.
▪ مقاومة قوية للتآكل: قادرة على مقاومة التآكل بواسطة الغازات المسببة للتآكل المختلفة والبلازما.
▪ خدمة مخصصة: يمكن تخصيص حاملات الجرافيت بأحجام وأشكال مختلفة وفقًا لاحتياجات العملاء.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | دين إيك 60413/204 | 1.83 | جم / سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | الدين 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | دين IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية المحددة | دين إيك 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | دين إيك 60413/501 | 60 | MPa |
| قوة ضاغطة | الدين 51910 | 130 | MPa |
| معامل يونغ | الدين 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | الدين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | الدين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
وهو مصمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية ذات الكفاءة العالية، ويدعم معالجة الرقاقات كبيرة الحجم G12. يعمل تصميم الناقل المُحسّن على زيادة الإنتاجية بشكل كبير، مما يتيح معدلات إنتاجية أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حاملة الرقاقة العددية |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 156 | 156-13 قارب من الجرافيت | 144 |
| 156-19 قارب من الجرافيت | 216 | |
| 156-21 قارب من الجرافيت | 240 | |
| 156-23 قارب الجرافيت | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - السلسلة 125 | 125-15 قارب من الجرافيت | 196 |
| 125-19 قارب من الجرافيت | 252 | |
| 125-21 قارب الجرافيت | 280 |
