vet-china bied die innoverende Vertical Column Wafer Boat & Pedestal aan, 'n omvattende oplossing vir gevorderde halfgeleierverwerking. Hierdie wafelhanteringstelsel is ontwerp met noukeurige akkuraatheid en bied ongeëwenaarde stabiliteit en belyning, noodsaaklik vir hoë-doeltreffende vervaardigingsomgewings.
Die Vertical Column Wafer Boat & Pedestal is gebou met premium materiale wat termiese stabiliteit en weerstand teen chemiese korrosie waarborg, wat dit geskik maak vir die mees veeleisende halfgeleiervervaardigingsprosesse. Sy unieke vertikale kolomontwerp ondersteun wafers veilig, wat die risiko van wanbelyning en potensiële skade tydens vervoer en verwerking verminder.
Met die integrasie van vet-china se Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, kan halfgeleiervervaardigers verbeterde deurset, minimale stilstand en verhoogde produkopbrengs verwag. Hierdie stelsel is versoenbaar met verskillende wafelgroottes en konfigurasies, wat buigsaamheid en skaalbaarheid bied vir verskillende produksiebehoeftes.
vet-china se verbintenis tot uitnemendheid verseker dat elke Vertikale Kolom Wafer Boat & Pedestal aan die hoogste standaarde van kwaliteit en werkverrigting voldoen. Deur hierdie toonaangewende oplossing te kies, belê jy in 'n toekomsvaste benadering tot wafelhantering wat doeltreffendheid en betroubaarheid in halfgeleiervervaardiging maksimeer.
Eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied
Herkristalliseerde silikonkarbied (R-SiC) is 'n hoëprestasiemateriaal met 'n hardheid wat net diamant is, wat by 'n hoë temperatuur bo 2000 ℃ gevorm word. Dit behou baie uitstekende eienskappe van SiC, soos hoë temperatuursterkte, sterk korrosiebestandheid, uitstekende oksidasieweerstand, goeie termiese skokweerstand ensovoorts.
● Uitstekende meganiese eienskappe. Herkristalliseerde silikonkarbied het 'n hoër sterkte en styfheid as koolstofvesel, hoë impakweerstand, kan 'n goeie prestasie in uiterste temperatuur omgewings speel, kan 'n beter teenbalans prestasie speel in 'n verskeidenheid situasies. Boonop het dit ook goeie buigsaamheid en word dit nie maklik beskadig deur strek en buig nie, wat sy werkverrigting aansienlik verbeter.
● Hoë weerstand teen korrosie. Herkristalliseerde silikonkarbied het 'n hoë korrosiebestandheid teen 'n verskeidenheid media, kan die erosie van 'n verskeidenheid korrosiewe media voorkom, kan sy meganiese eienskappe vir 'n lang tyd behou, het 'n sterk adhesie, sodat dit 'n langer lewensduur het. Daarbenewens het dit ook goeie termiese stabiliteit, kan dit aanpas by 'n sekere reeks temperatuurveranderinge, die toepassingseffek daarvan verbeter.
● Sintering krimp nie. Omdat die sinterproses nie krimp nie, sal geen oorblywende spanning vervorming of krake van die produk veroorsaak nie, en dele met komplekse vorms en hoë presisie kan voorberei word.
重结晶碳化硅物理特性 Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese waarde |
使用温度/ Werkstemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing) |
SiC含量/ SiC inhoud | > 99,96% |
自由Si含量/ Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
体积密度/Bulkdigtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
气孔率/ Skynbare porositeit | < 16% |
抗压强度/ Kompressiesterkte | > 600MPa |
常温抗弯强度/Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
高温抗弯强度Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数/ Termiese uitsetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
导热系数/Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23W/m•K |
杨氏模量/ Elastiese modulus | 240 GPa |
抗热震性/ Termiese skok weerstand | Uiters goed |
VET Energie is dieregte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met CVD-bedekking,kan verskafverskeiepasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie. Our tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings verskafvir jou.
Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf,enhet 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie uitgewerk, wat die binding tussen die laag en die substraat stywer en minder geneig tot losmaak kan maak.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag | |
性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese waarde |
晶体结构 / Kristalstruktuur | FCC β fase多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Digtheid | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g vrag) |
晶粒大小 / Graangrootte | 2~10μm |
纯度 / Chemiese Suiwerheid | 99,99995% |
热容 / Hittekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimasie Temperatuur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Buigkrag | 415 MPa RT 4-punt |
杨氏模量 / Young se Modulus | 430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!